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蚀刻钼/铜/钼或钼合金/铜/钼合金三层金属配线结构的蚀刻液组合物及其应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010908831.4
申请日：
2020-09-02
公开(公告)号：
CN112080747A
公开(公告)日：
2020-12-15
发明(设计)人：
刘净
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
IPC主分类号：
C23F144
IPC分类号：
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
唐秀萍
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-12-15 | 公开 | 公开 |
| 2021-01-01 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/44 申请日:20200902 |
| 2021-10-08 | 授权 | 授权 |