共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010005051.9
申请日：
2020-01-03
公开(公告)号：
CN111074278A
公开(公告)日：
2020-04-28
发明(设计)人：
吴豪旭
申请人：
申请人地址：
518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
IPC主分类号：
C23F118
IPC分类号：
C23F126
代理机构：
深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570
代理人：
唐秀萍
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-05-22 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20200103 |
| 2022-05-13 | 发明专利申请公布后的驳回 | 发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 1/18 申请公布日:20200428 |
| 2020-04-28 | 公开 | 公开 |