用于铜钼金属膜层的蚀刻液及蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811003455.3

申请日：

2018-08-30

公开(公告)号：

CN109023370A

公开(公告)日：

2018-12-18

发明(设计)人：

赵芬利

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-16	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):C23F 1/18 申请公布日:20181218
2019-01-11	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20180830
2018-12-18	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高效铜钼蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109136931A ,2019-01-04

[2]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

[3]

用于铜/钼膜层的金属蚀刻液及其蚀刻方法 [P].

武岳 ;

雍玮娜 .

中国专利 :CN106498398A ,2017-03-15

[4]

用于铜钼膜层的蚀刻剂与铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

张月红 ;

何毅烽 .

中国专利 :CN112522705A ,2021-03-19

[5]

用于蚀刻由铜层及钼层构成的金属层的蚀刻液及其应用 [P].

王毅明 ;

邵振 .

中国专利 :CN110219003B ,2019-09-10

[6]

用于铜/钼金属的蚀刻液组成物及蚀刻方法 [P].

林震威 ;

蔡墨勋 .

中国专利 :CN101418449A ,2009-04-29

[7]

铜钼金属蚀刻液及其应用 [P].

郭前程 .

中国专利 :CN113667979A ,2021-11-19

[8]

蚀刻液和铜/钼金属线的蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN113106454A ,2021-07-13

[9]

一种高寿命铜钼蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109234736A ,2019-01-18

[10]

一种用于铜钼膜层的蚀刻液和蚀刻方法 [P].

刘长乐 ;

严为刚 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN120119252A ,2025-06-10

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