一种高寿命铜钼蚀刻液及蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811015118.6

申请日：

2018-08-31

公开(公告)号：

CN109234736A

公开(公告)日：

2019-01-18

发明(设计)人：

赵芬利

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23F144

IPC分类号：

C23F118 C23F126

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-18	公开	公开
2021-02-26	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23F 1/44 变更事项:专利权人变更前:深圳市华星光电技术有限公司变更后:TCL华星光电技术有限公司变更事项:地址变更前:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号变更后:518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号
2019-02-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/44 申请日:20180831
2020-08-11	授权	授权

共 50 条

[1]

一种高效铜钼蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109136931A ,2019-01-04

[2]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

[3]

一种铜钼蚀刻液及制备方法 [P].

李操 ;

宁本德 ;

张成宇 ;

徐何玉婷 .

中国专利 :CN120536927A ,2025-08-26

[4]

一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液及蚀刻方法 [P].

李涛 ;

章佳寅 ;

徐杨 ;

沈夏军 ;

顾梦佳 ;

任奕宇 ;

朱龙 .

中国专利 :CN117737733A ,2024-03-22

[5]

一种长蚀刻寿命的铜蚀刻液 [P].

李少平 ;

钟昌东 ;

郝晓斌 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

张庭 ;

蔡步林 ;

万杨阳 ;

王书萍 ;

冯凯 ;

尹印 ;

李鑫 ;

景继磊 .

中国专利 :CN111647888A ,2020-09-11

[6]

用于铜钼金属膜层的蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109023370A ,2018-12-18

[7]

铜钼金属蚀刻液及其应用 [P].

郭前程 .

中国专利 :CN113667979A ,2021-11-19

[8]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN109082663A ,2018-12-25

[9]

一种铜钼蚀刻液及其制备方法 [P].

钟昌东 ;

贺兆波 ;

张演哲 ;

叶瑞 ;

张庭 ;

刘悦 ;

黄锣锣 ;

黎鹏飞 ;

冯凯 ;

尹印 ;

王书萍 ;

万杨阳 ;

李金航 ;

李鑫 .

中国专利 :CN115418642A ,2022-12-02

[10]

一种用于铜钼结构的长寿命蚀刻液及其制备方法和蚀刻方法 [P].

吴思程 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN118814167A ,2024-10-22

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