一种高效铜钼蚀刻液及蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811013298.4

申请日：

2018-08-31

公开(公告)号：

CN109136931A

公开(公告)日：

2019-01-04

发明(设计)人：

赵芬利

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23F144

IPC分类号：

C23F118 C23F126

代理机构：

深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300

代理人：

黄威

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-29	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/44 申请日:20180831
2021-01-15	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 1/44 申请公布日:20190104
2019-01-04	公开	公开

共 50 条

[1]

一种高寿命铜钼蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109234736A ,2019-01-18

[2]

用于铜钼金属膜层的蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109023370A ,2018-12-18

[3]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

[4]

一种强化钼铌合金蚀刻的铜蚀刻液及蚀刻方法 [P].

李涛 ;

章佳寅 ;

徐杨 ;

沈夏军 ;

顾梦佳 ;

任奕宇 ;

朱龙 .

中国专利 :CN117737733A ,2024-03-22

[5]

一种铜钼蚀刻液及制备方法 [P].

李操 ;

宁本德 ;

张成宇 ;

徐何玉婷 .

中国专利 :CN120536927A ,2025-08-26

[6]

铜钼金属蚀刻液及其应用 [P].

郭前程 .

中国专利 :CN113667979A ,2021-11-19

[7]

蚀刻液和铜/钼金属线的蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN113106454A ,2021-07-13

[8]

一种面板用铜钼叠层蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

李涛 ;

沈夏军 ;

徐杨 ;

顾梦佳 ;

徐烨 ;

李翔 .

中国专利 :CN119663281A ,2025-03-21

[9]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN109082663A ,2018-12-25

[10]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN108950557A ,2018-12-07

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