蚀刻液和铜/钼金属线的蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110313616.4

申请日：

2021-03-24

公开(公告)号：

CN113106454A

公开(公告)日：

2021-07-13

发明(设计)人：

赵芬利

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 C23F102

代理机构：

深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570

代理人：

徐世俊

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-13	公开	公开
2021-07-30	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20210324

共 50 条

[1]

用于铜/钼金属的蚀刻液组成物及蚀刻方法 [P].

林震威 ;

蔡墨勋 .

中国专利 :CN101418449A ,2009-04-29

[2]

铜钼金属蚀刻液及其应用 [P].

郭前程 .

中国专利 :CN113667979A ,2021-11-19

[3]

蚀刻液和蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN113529085A ,2021-10-22

[4]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

[5]

用于铜钼金属膜层的蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109023370A ,2018-12-18

[6]

一种高效铜钼蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109136931A ,2019-01-04

[7]

用于铜/钼膜层的金属蚀刻液及其蚀刻方法 [P].

武岳 ;

雍玮娜 .

中国专利 :CN106498398A ,2017-03-15

[8]

铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

姜欣奕 ;

章学春 ;

衡京 ;

聂航 ;

刘明辉 .

中国专利 :CN119710702A ,2025-03-28

[9]

一种铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

刘伟 ;

杜冰 ;

刘文永 ;

张茂 ;

邱柱 ;

方磊 ;

赵建龙 ;

张兵 ;

向文胜 ;

朱坤 ;

陆兰 .

中国专利 :CN112663064A ,2021-04-16

[10]

包含钼和铜的多层膜用蚀刻液、蚀刻浓缩液以及蚀刻方法 [P].

着能真 ;

渊上真一郎 ;

鬼头佑典 ;

小佐野善秀 .

中国专利 :CN106255777A ,2016-12-21

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