一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810795063.9

申请日：

2018-07-19

公开(公告)号：

CN109082663A

公开(公告)日：

2018-12-25

发明(设计)人：

吴豪旭赵芬利梅园

申请人：

申请人地址：

518132 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126

代理机构：

广州三环专利商标代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫;熊永强

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-12-25	公开	公开
2020-10-27	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23F 1/18 申请公布日:20181225
2019-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20180719

共 50 条

[1]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN108950557A ,2018-12-07

[2]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

[3]

铜钼金属蚀刻液及其应用 [P].

郭前程 .

中国专利 :CN113667979A ,2021-11-19

[4]

一种铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

刘伟 ;

杜冰 ;

刘文永 ;

张茂 ;

邱柱 ;

方磊 ;

赵建龙 ;

张兵 ;

向文胜 ;

朱坤 ;

陆兰 .

中国专利 :CN112663064A ,2021-04-16

[5]

铜钼蚀刻剂组合物，铜钼膜层的蚀刻方法与显示面板 [P].

何毅烽 .

中国专利 :CN113278975A ,2021-08-20

[6]

一种高寿命铜钼蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109234736A ,2019-01-18

[7]

一种高效铜钼蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109136931A ,2019-01-04

[8]

蚀刻液组合物 [P].

尹景湖 ;

申孝燮 ;

金世训 .

中国专利 :CN107090581A ,2017-08-25

[9]

蚀刻液组合物 [P].

朴相* ;

吴陈* ;

金益俊 ;

金希泰 ;

尹景湖 ;

金世训 .

中国专利 :CN109518189A ,2019-03-26

[10]

一种蚀刻液组合物及其应用 [P].

蔡洁 ;

胡青华 ;

王元元 ;

张兵 ;

向文胜 ;

赵建龙 ;

杜冰 ;

贾雪 ;

桂立苏 .

中国专利 :CN116288351B ,2025-10-21

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