蚀刻液组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811083417.3

申请日：

2018-09-14

公开(公告)号：

CN109518189A

公开(公告)日：

2019-03-26

发明(设计)人：

朴相* 吴陈* 金益俊金希泰尹景湖金世训

申请人：

申请人地址：

韩国京畿道

IPC主分类号：

C23F144

IPC分类号：

代理机构：

北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371

代理人：

金相允;梁香美

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-26	公开	公开
2019-04-19	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/44 申请日:20180914
2021-05-25	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻液组合物 [P].

尹景湖 ;

申孝燮 ;

金世训 .

中国专利 :CN107090581A ,2017-08-25

[2]

铜钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

金世训 ;

申孝燮 ;

李宝妍 .

中国专利 :CN103668208B ,2014-03-26

[3]

蚀刻液组合物 [P].

李明翰 ;

安镐源 ;

金世训 .

中国专利 :CN108235710B ,2018-06-29

[4]

一种蚀刻液组合物 [P].

李嘉 .

中国专利 :CN108085683A ,2018-05-29

[5]

一种铜蚀刻液组合物及其应用 [P].

李恩庆 ;

谢一泽 ;

赵东 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN118895506A ,2024-11-05

[6]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN109082663A ,2018-12-25

[7]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

青木珠美 ;

正元祐次 ;

斋尾佳秀 ;

石崎隼郎 .

中国专利 :CN109844910A ,2019-06-04

[8]

蚀刻液组合物和蚀刻方法 [P].

石崎隼郎 ;

大宫大辅 .

中国专利 :CN104233299B ,2014-12-24

[9]

一种蚀刻液组合物及其应用 [P].

蔡洁 ;

胡青华 ;

王元元 ;

张兵 ;

向文胜 ;

赵建龙 ;

杜冰 ;

贾雪 ;

桂立苏 .

中国专利 :CN116288351B ,2025-10-21

[10]

一种蚀刻液组合物及其制备方法和应用 [P].

李恩庆 ;

谢一泽 ;

赵东 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN118516671A ,2024-08-20

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