铜钼合金膜的蚀刻液组合物

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310398710.X

申请日：

2013-09-04

公开(公告)号：

CN103668208B

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

李恩庆金世训申孝燮李宝妍

申请人：

申请人地址：

韩国首尔市江南区奉恩寺路151号，邮编135-545

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 H01L21306

代理机构：

深圳市顺天达专利商标代理有限公司 44217

代理人：

蔡晓红

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-03-26	公开	公开
2016-08-17	授权	授权
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581683576 IPC(主分类):C23F 1/18 专利申请号:201310398710X 申请日:20130904

共 50 条

[1]

铜/钼膜或铜/钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

申孝燮 ;

李恩庆 ;

金世训 .

中国专利 :CN103924242B ,2014-07-16

[2]

铜及钼含有膜的蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

殷熙天 ;

金世训 ;

申孝燮 .

中国专利 :CN109136925A ,2019-01-04

[3]

铜及钼含有膜的蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

殷熙天 ;

金世训 ;

申孝燮 .

中国专利 :CN104513981A ,2015-04-15

[4]

铜钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

申孝燮 ;

金世训 ;

李恩庆 ;

丁镇培 ;

李相大 ;

韩斗锡 .

中国专利 :CN103890232A ,2014-06-25

[5]

铜/钼膜或铜/钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

金世训 ;

李恩庆 ;

李宝妍 ;

申孝燮 .

中国专利 :CN103924244A ,2014-07-16

[6]

铜/钼膜或铜/钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

金世训 ;

李恩庆 ;

李宝妍 ;

申孝燮 .

中国专利 :CN107227463A ,2017-10-03

[7]

钼合金膜及铟氧化膜的蚀刻液组合物 [P].

申孝燮 ;

金世训 ;

李恩庆 ;

柳炫圭 .

中国专利 :CN103890234B ,2014-06-25

[8]

蚀刻液组合物 [P].

朴相* ;

吴陈* ;

金益俊 ;

金希泰 ;

尹景湖 ;

金世训 .

中国专利 :CN109518189A ,2019-03-26

[9]

铜/钼膜层用蚀刻液组合物 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109023372A ,2018-12-18

[10]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

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