用于蚀刻由铜层及钼层构成的金属层的蚀刻液及其应用

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专利类型
发明
申请号
CN201910582995.X
申请日
2019-07-01
公开(公告)号
CN110219003B
公开(公告)日
2019-09-10
发明(设计)人
王毅明 邵振
申请人
申请人地址
210012 江苏省镇江市扬中市新坝镇扬中大桥东侧
IPC主分类号
C23F144
IPC分类号
C23F118 C23F126
代理机构
代理人
法律状态
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国省代码
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共 50 条
[1]
用于铜/钼膜层的金属蚀刻液及其蚀刻方法 [P]. 
武岳 ;
雍玮娜 .
中国专利 :CN106498398A ,2017-03-15
[2]
用于铜钼金属膜层的蚀刻液及蚀刻方法 [P]. 
赵芬利 .
中国专利 :CN109023370A ,2018-12-18
[3]
用于铜/钼膜层的蚀刻液及其应用 [P]. 
邓金全 ;
李嘉 ;
赵芬利 .
中国专利 :CN108004550A ,2018-05-08
[4]
包含铜层及钼层的多层薄膜用蚀刻液 [P]. 
冈部哲 ;
成田和代 ;
松原将英 ;
安谷屋智幸 ;
丸山岳人 .
中国专利 :CN102762770A ,2012-10-31
[5]
蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P]. 
吴豪旭 .
中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28
[6]
用于铜/钼膜层的蚀刻液及其应用 [P]. 
赵芬利 .
中国专利 :CN107858685A ,2018-03-30
[7]
铜钼金属蚀刻液及其应用 [P]. 
郭前程 .
中国专利 :CN113667979A ,2021-11-19
[8]
用于铜钼膜层的蚀刻剂与铜钼膜层的蚀刻方法 [P]. 
张月红 ;
何毅烽 .
中国专利 :CN112522705A ,2021-03-19
[9]
一种用于铜钼膜层的蚀刻液和蚀刻方法 [P]. 
刘长乐 ;
严为刚 ;
李闯 ;
张红伟 ;
黄海东 ;
胡天齐 .
中国专利 :CN120119252A ,2025-06-10
[10]
用于包含铜层和钼层的多层结构膜的蚀刻液 [P]. 
玉井聪 ;
冈部哲 ;
松原将英 ;
夕部邦夫 .
中国专利 :CN102985596A ,2013-03-20