一种新型TFT铜钼层叠膜蚀刻液组合物及蚀刻方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410759948.5

申请日：

2014-12-12

公开(公告)号：

CN104480469A

公开(公告)日：

2015-04-01

发明(设计)人：

戈士勇

申请人：

申请人地址：

214400 江苏省无锡市江阴市周庄镇欧洲工业园区

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126

代理机构：

江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247

代理人：

杜兴

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-04-29	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101607581416 IPC(主分类):C23F 1/18 专利申请号:2014107599485 申请日:20141212
2015-04-01	公开	公开
2018-02-23	授权	授权

共 50 条

[1]

蚀刻液组合物及铜钼膜层的蚀刻方法 [P].

吴豪旭 .

中国专利 :CN111074278A ,2020-04-28

[2]

铜及钼含有膜的蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

殷熙天 ;

金世训 ;

申孝燮 .

中国专利 :CN109136925A ,2019-01-04

[3]

铜及钼含有膜的蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

殷熙天 ;

金世训 ;

申孝燮 .

中国专利 :CN104513981A ,2015-04-15

[4]

铜钼合金膜的蚀刻液组合物 [P].

李恩庆 ;

金世训 ;

申孝燮 ;

李宝妍 .

中国专利 :CN103668208B ,2014-03-26

[5]

铜钼蚀刻剂组合物，铜钼膜层的蚀刻方法与显示面板 [P].

何毅烽 .

中国专利 :CN113278975A ,2021-08-20

[6]

铜、钼金属层叠膜蚀刻液组合物、使用该组合物的蚀刻方法及延长该组合物的寿命的方法 [P].

高桥秀树 ;

廖本男 ;

李盈壕 .

中国专利 :CN107075693B ,2017-08-18

[7]

用于铜/钼金属的蚀刻液组成物及蚀刻方法 [P].

林震威 ;

蔡墨勋 .

中国专利 :CN101418449A ,2009-04-29

[8]

一种高效铜钼蚀刻液及蚀刻方法 [P].

赵芬利 .

中国专利 :CN109136931A ,2019-01-04

[9]

蚀刻液组合物及蚀刻方法 [P].

黄若涵 ;

吴光耀 ;

黄宜琤 ;

罗致远 ;

卢厚德 .

中国专利 :CN104611700A ,2015-05-13

[10]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN109082663A ,2018-12-25

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