一种铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202011490580.9

申请日：

2020-12-16

公开(公告)号：

CN112663064A

公开(公告)日：

2021-04-16

发明(设计)人：

刘伟杜冰刘文永张茂邱柱方磊赵建龙张兵向文胜朱坤陆兰

申请人：

申请人地址：

215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号

IPC主分类号：

C23F118

IPC分类号：

C23F126 H01L213213

代理机构：

北京品源专利代理有限公司 11332

代理人：

巩克栋

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-04-16	公开	公开
2021-05-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20201216

共 50 条

[41]

一种铜钼合金膜用蚀刻液 [P].

陈浩 ;

高小云 ;

刘兵 .

中国专利 :CN107151795A ,2017-09-12

[42]

一种铜蚀刻液及其应用 [P].

朱少臣 ;

李晓悦 .

中国专利 :CN121065700A ,2025-12-05

[43]

一种用于铜钼钛结构的蚀刻液及其制备方法 [P].

吴思程 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN119040892A ,2024-11-29

[44]

一种金属钛的无氟蚀刻液和蚀刻方法 [P].

请求不公布姓名 ;

赵伟 ;

肖林 .

中国专利 :CN120796989A ,2025-10-17

[45]

蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

周志强 ;

袁明军 ;

李治文 ;

杜小林 ;

胡秋雨 ;

刘彬云 .

中国专利 :CN113957441B ,2024-01-02

[46]

蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

周志强 ;

袁明军 ;

李治文 ;

杜小林 ;

胡秋雨 ;

刘彬云 .

中国专利 :CN113957441A ,2022-01-21

[47]

一种铜基复合金属蚀刻液、其制备方法及应用 [P].

侯军 ;

彭仁杰 ;

张敬坤 ;

曹莉芳 ;

何佳丽 .

中国专利 :CN120330707A ,2025-07-18

[48]

一种铜蚀刻液组合物及其制备方法 [P].

赵方方 ;

申阳 ;

李泰亨 ;

王丹宇 ;

王泽 .

中国专利 :CN119876956A ,2025-04-25

[49]

一种蚀刻液及其制备方法和应用 [P].

颜光明 ;

雷霆 ;

詹振翔 ;

吕依芮 .

中国专利 :CN112430815A ,2021-03-02

[50]

一种中性铜蚀刻液及其制备方法与应用 [P].

周志强 ;

袁明军 ;

徐瑶 .

中国专利 :CN119859802A ,2025-04-22

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