一种铜蚀刻液组合物及其制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202510070386.1

申请日：

2025-01-16

公开(公告)号：

CN119876956A

公开(公告)日：

2025-04-25

发明(设计)人：

赵方方申阳李泰亨王丹宇王泽

申请人：

易安爱富（武汉）科技有限公司

申请人地址：

430000 湖北省武汉市东湖开发区流芳园横路8号武汉天马微电子有限公司厂房内

IPC主分类号：

C23F1/34

IPC分类号：

代理机构：

武汉红观专利代理事务所(普通合伙) 42247

代理人：

李杰梅

法律状态：

公开

国省代码：

湖北省武汉市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-25	公开	公开
2025-05-13	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):C23F 1/34申请日:20250116

共 50 条

[1]

一种铜蚀刻液组合物 [P].

乔正收 ;

王金城 .

中国专利 :CN111945163A ,2020-11-17

[2]

一种中性铜蚀刻液及其制备方法 [P].

刘岩峰 ;

陈继航 .

中国专利 :CN113667978A ,2021-11-19

[3]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN108950557A ,2018-12-07

[4]

一种铜钛结构蚀刻组合物及其制备方法 [P].

李恩庆 ;

谢一泽 ;

赵东 ;

李闯 ;

张红伟 ;

黄海东 ;

胡天齐 .

中国专利 :CN119194450A ,2024-12-27

[5]

一种酸性铜蚀刻液及其制备方法 [P].

吴际峰 ;

王锁 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 ;

龚升 .

中国专利 :CN118653152A ,2024-09-17

[6]

一种酸性铜蚀刻液及其制备方法 [P].

吴际峰 ;

王锁 ;

王维康 ;

何烨谦 ;

黄德新 ;

龚升 .

中国专利 :CN118653152B ,2024-11-22

[7]

铜钼蚀刻液组合物及其制备方法和应用 [P].

张伟明 ;

姜欣奕 ;

章学春 ;

衡京 ;

聂航 ;

刘明辉 .

中国专利 :CN120519863A ,2025-08-22

[8]

一种蚀刻液组合物及其制备方法 [P].

卢燕燕 ;

张丽燕 .

中国专利 :CN114318340A ,2022-04-12

[9]

一种铜蚀刻液及其制备方法 [P].

钟昌东 ;

叶瑞 ;

贺兆波 ;

欧阳克银 ;

张庭 ;

张演哲 ;

黄锣锣 ;

黎鹏飞 ;

王荣 ;

彭俊杰 .

中国专利 :CN116240547B ,2024-03-12

[10]

一种铜/钼蚀刻液组合物及其应用 [P].

吴豪旭 ;

赵芬利 ;

梅园 .

中国专利 :CN109082663A ,2018-12-25

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