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一种铜钼金属蚀刻液及其制备方法和应用
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011490580.9
申请日：
2020-12-16
公开(公告)号：
CN112663064A
公开(公告)日：
2021-04-16
发明(设计)人：
刘伟
杜冰
刘文永
张茂
邱柱
方磊
赵建龙
张兵
向文胜
朱坤
陆兰
申请人：
申请人地址：
215300 江苏省苏州市昆山市千灯镇黄浦江路1647号
IPC主分类号：
C23F118
IPC分类号：
C23F126
H01L213213
代理机构：
北京品源专利代理有限公司 11332
代理人：
巩克栋
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-04-16 | 公开 | 公开 |
| 2021-05-04 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23F 1/18 申请日:20201216 |