一种晶片甩干机辅助干燥装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202121546127.5

申请日：

2021-07-08

公开(公告)号：

CN215002815U

公开(公告)日：

2021-12-03

发明(设计)人：

张华任殿胜刘宇

申请人：

申请人地址：

072650 河北省保定市定兴县金台经济开发区107国道东侧鹏程路西端南侧

IPC主分类号：

F26B2100

IPC分类号：

F26B2506 F26B508

代理机构：

北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350

代理人：

李兴林

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-12-03	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶片甩干机 [P].

许子俊 .

中国专利 :CN207265017U ,2018-04-20

[2]

一种硅晶片甩干机 [P].

秦有贵 ;

辛奇 ;

胡凯 ;

徐峰 ;

杨军 ;

闫乐成 ;

秦宝宏 .

中国专利 :CN217423779U ,2022-09-13

[3]

硅晶片甩干机 [P].

张育 .

中国专利 :CN209147641U ,2019-07-23

[4]

一种新型晶片甩干烘烤机 [P].

张建红 .

中国专利 :CN205561474U ,2016-09-07

[5]

一种平置晶片甩干机 [P].

王育新 ;

刘庆辉 .

中国专利 :CN216522694U ,2022-05-13

[6]

一种晶片甩干装置 [P].

郑金龙 ;

唐勇 ;

黄艺毅 ;

周铁军 ;

马金峰 .

中国专利 :CN222190665U ,2024-12-17

[7]

一种立式固定旋转晶片甩干机 [P].

张华 ;

王育新 ;

刘庆辉 .

中国专利 :CN214477358U ,2021-10-22

[8]

一种硅晶片甩干机 [P].

杨仕品 .

中国专利 :CN110131970A ,2019-08-16

[9]

一种半导体晶片甩干装置 [P].

王阳 ;

孙聂枫 ;

李晓岚 ;

史艳磊 ;

王书杰 ;

薛静 .

中国专利 :CN221944775U ,2024-11-01

[10]

一种晶片节能干燥装置 [P].

章士龙 ;

周炳 .

中国专利 :CN217541344U ,2022-10-04

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