光源装置、曝光装置以及光源控制方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201680030951.0

申请日：

2016-06-02

公开(公告)号：

CN107850850B

公开(公告)日：

2018-03-27

发明(设计)人：

比企达也木村文男

申请人：

申请人地址：

日本东京

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

任玉敏

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-27	公开	公开
2021-06-08	授权	授权
2018-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20160602

共 50 条

[1]

光源装置以及使用其的背光源、曝光装置以及曝光方法 [P].

石田进 ;

手吕内俊郎 ;

手塚秀和 .

中国专利 :CN102182954B ,2011-09-14

[2]

光源装置以及曝光装置 [P].

藤原和正 ;

月崎雄 .

中国专利 :CN209198871U ,2019-08-02

[3]

光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法 [P].

池田富彦 ;

乡田哲也 ;

小谷弘一 .

中国专利 :CN111066376B ,2020-04-24

[4]

光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法 [P].

池田富彦 ;

小谷弘一 ;

乡田哲也 .

中国专利 :CN111033385B ,2020-04-17

[5]

光源装置以及具有光源装置的曝光装置 [P].

金井信夫 ;

本多友彦 ;

藤原和正 .

中国专利 :CN105144340A ,2015-12-09

[6]

光源装置以及使用该光源装置的曝光装置 [P].

白井哲也 ;

清木芳彦 ;

中川敦二 .

中国专利 :CN101277567A ,2008-10-01

[7]

光源装置以及使用该光源装置的曝光装置 [P].

白井哲也 ;

清木芳彦 ;

中川敦二 .

中国专利 :CN101277566A ,2008-10-01

[8]

光源装置以及具备该光源装置的曝光装置 [P].

松岛竹夫 ;

多田元典 ;

上原理彰 ;

木下顺一 .

中国专利 :CN107168016B ,2017-09-15

[9]

光源装置、投影装置以及光源控制方法 [P].

增田弘树 ;

小川昌宏 ;

马峰治 ;

成川哲郎 .

中国专利 :CN111736333B ,2020-10-02

[10]

光源装置、照明装置以及曝光装置 [P].

安永大辅 ;

昼间健太郎 .

中国专利 :CN113467191A ,2021-10-01

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