光源装置以及曝光装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201822147457.1

申请日：

2018-12-20

公开(公告)号：

CN209198871U

公开(公告)日：

2019-08-02

发明(设计)人：

藤原和正月崎雄

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;张会华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-02	授权	授权

共 50 条

[1]

光源装置、曝光装置以及光源控制方法 [P].

比企达也 ;

木村文男 .

中国专利 :CN107850850B ,2018-03-27

[2]

光源装置以及具有光源装置的曝光装置 [P].

金井信夫 ;

本多友彦 ;

藤原和正 .

中国专利 :CN105144340A ,2015-12-09

[3]

光源装置、照明装置以及曝光装置 [P].

安永大辅 ;

昼间健太郎 .

中国专利 :CN113467191A ,2021-10-01

[4]

光源装置以及使用其的背光源、曝光装置以及曝光方法 [P].

石田进 ;

手吕内俊郎 ;

手塚秀和 .

中国专利 :CN102182954B ,2011-09-14

[5]

光源装置以及使用该光源装置的曝光装置 [P].

白井哲也 ;

清木芳彦 ;

中川敦二 .

中国专利 :CN101277567A ,2008-10-01

[6]

光源装置以及具备该光源装置的曝光装置 [P].

松岛竹夫 ;

多田元典 ;

上原理彰 ;

木下顺一 .

中国专利 :CN107168016B ,2017-09-15

[7]

光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法 [P].

池田富彦 ;

乡田哲也 ;

小谷弘一 .

中国专利 :CN111066376B ,2020-04-24

[8]

光源装置以及使用该光源装置的曝光装置 [P].

白井哲也 ;

清木芳彦 ;

中川敦二 .

中国专利 :CN101277566A ,2008-10-01

[9]

光源装置、曝光装置以及光源装置的判定方法 [P].

池田富彦 ;

小谷弘一 ;

乡田哲也 .

中国专利 :CN111033385B ,2020-04-17

[10]

光源装置和曝光装置 [P].

竹田幸一郎 ;

山本健 ;

杉田健一 ;

山崎恒男 ;

姜承俊 ;

大塚明 ;

川崎裕生 ;

比企达也 ;

今井洋之 .

中国专利 :CN105319862A ,2016-02-10

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