微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710244693.2

申请日：

2017-04-14

公开(公告)号：

CN106835070A

公开(公告)日：

2017-06-13

发明(设计)人：

于宗旭

申请人：

申请人地址：

030021 山西省太原市万柏林区新晋祠路31号太原理工大学长风住宅小区10#楼2单元501

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16455 C23C16511 C23C16513

代理机构：

太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111

代理人：

骆洋

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-04-26	授权	授权
2017-08-15	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101741188918 IPC(主分类):C23C 16/27 专利申请号:2017102446932 申请日:20170414
2017-06-13	公开	公开

共 50 条

[1]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN206635410U ,2017-11-14

[2]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

丁海兵 ;

梁瑞 ;

吉忠浩 ;

陆登峰 .

中国专利 :CN118979242A ,2024-11-19

[3]

一种微波等离子体化学气相沉积金刚石粉的反应装置 [P].

丁佩 ;

杨鹏 ;

段向阳 ;

许坤 .

中国专利 :CN220907632U ,2024-05-07

[4]

用于化学气相沉积金刚石膜的高功率微波等离子体反应装置 [P].

于盛旺 ;

黑鸿君 ;

刘小萍 ;

安康 ;

高洁 ;

贺志勇 .

中国专利 :CN104388910A ,2015-03-04

[5]

一种微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的装置 [P].

皮超杰 ;

夏震 ;

徐国龙 .

中国专利 :CN206529521U ,2017-09-29

[6]

微波等离子体化学气相沉积装置和合成金刚石的方法 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN108588819A ,2018-09-28

[7]

微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜方法 [P].

王若民 ;

赵龙 ;

赵博文 ;

王鑫 ;

仇茹嘉 ;

杨海涛 ;

谢佳 ;

柯艳国 ;

高博 ;

孔明 ;

汪玉 ;

王丽君 ;

陈嘉 ;

周梦良 .

中国专利 :CN113174582A ,2021-07-27

[8]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN209522923U ,2019-10-22

[9]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

牛进毅 ;

苗岱 .

中国专利 :CN111910170B ,2025-01-14

[10]

微波等离子体化学气相沉积装置 [P].

马懿 ;

马修·L·斯卡林 ;

朱金华 ;

吴建新 ;

缪勇 ;

卢荻 ;

艾永干 ;

克里斯托弗·E·格里芬 .

中国专利 :CN208167149U ,2018-11-30

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