微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110437149.6

申请日：

2021-04-22

公开(公告)号：

CN113174582A

公开(公告)日：

2021-07-27

发明(设计)人：

王若民赵龙赵博文王鑫仇茹嘉杨海涛谢佳柯艳国高博孔明汪玉王丽君陈嘉周梦良

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区九龙路168号7栋

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16511 C23C1602

代理机构：

北京国林贸知识产权代理有限公司 11001

代理人：

唐维宁;李瑾

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-27	公开	公开
2021-09-03	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20210422

共 50 条

[1]

利用微波等离子体化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜的方法 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 .

中国专利 :CN114231953A ,2022-03-25

[2]

一种采用微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的方法 [P].

周霖 ;

冯真 ;

李文君 ;

程云 ;

黎明 ;

单李军 ;

杨兴繁 ;

邓德荣 ;

张鹏 ;

和天慧 .

中国专利 :CN107164740B ,2017-09-15

[3]

一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台 [P].

李文君 ;

周霖 ;

程云 ;

冯真 ;

李春霞 ;

单李军 ;

邓德荣 ;

黎明 ;

杨兴繁 .

中国专利 :CN106929828A ,2017-07-07

[4]

一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台 [P].

李文君 ;

周霖 ;

程云 ;

冯真 ;

李春霞 ;

单李军 ;

邓德荣 ;

黎明 ;

杨兴繁 .

中国专利 :CN206751920U ,2017-12-15

[5]

基于微波等离子体化学气相沉积法在石墨片上沉积金刚石膜的方法 [P].

胡晓君 ;

韩辰 ;

陈成克 ;

鲁少华 ;

叶志镇 .

中国专利 :CN119980181A ,2025-05-13

[6]

微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石用的沉积台 [P].

李成明 ;

赵云 ;

林亮珍 ;

安康 ;

郑宇亭 ;

黑立富 ;

刘金龙 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 .

中国专利 :CN206828679U ,2018-01-02

[7]

微波等离子体化学气相沉积法生长多晶金刚石片的方法 [P].

宋彦军 ;

陶隆凤 ;

王礼胜 .

中国专利 :CN109911894A ,2019-06-21

[8]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN206635410U ,2017-11-14

[9]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN106835070A ,2017-06-13

[10]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

丁海兵 ;

梁瑞 ;

吉忠浩 ;

陆登峰 .

中国专利 :CN118979242A ,2024-11-19

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