一种采用微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710334072.3

申请日：

2017-05-12

公开(公告)号：

CN107164740B

公开(公告)日：

2017-09-15

发明(设计)人：

周霖冯真李文君程云黎明单李军杨兴繁邓德荣张鹏和天慧

申请人：

申请人地址：

621000 四川省绵阳市游仙区919信箱1013分箱

IPC主分类号：

C23C1627

IPC分类号：

C23C16458

代理机构：

成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214

代理人：

詹永斌;沈强

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-17	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/27 申请日:20170512
2017-09-15	公开	公开
2019-05-07	授权	授权

共 50 条

[1]

一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台 [P].

李文君 ;

周霖 ;

程云 ;

冯真 ;

李春霞 ;

单李军 ;

邓德荣 ;

黎明 ;

杨兴繁 .

中国专利 :CN106929828A ,2017-07-07

[2]

一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台 [P].

李文君 ;

周霖 ;

程云 ;

冯真 ;

李春霞 ;

单李军 ;

邓德荣 ;

黎明 ;

杨兴繁 .

中国专利 :CN206751920U ,2017-12-15

[3]

微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜方法 [P].

王若民 ;

赵龙 ;

赵博文 ;

王鑫 ;

仇茹嘉 ;

杨海涛 ;

谢佳 ;

柯艳国 ;

高博 ;

孔明 ;

汪玉 ;

王丽君 ;

陈嘉 ;

周梦良 .

中国专利 :CN113174582A ,2021-07-27

[4]

利用微波等离子体化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜的方法 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 .

中国专利 :CN114231953A ,2022-03-25

[5]

基于微波等离子体化学气相沉积法在石墨片上沉积金刚石膜的方法 [P].

胡晓君 ;

韩辰 ;

陈成克 ;

鲁少华 ;

叶志镇 .

中国专利 :CN119980181A ,2025-05-13

[6]

微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石用的沉积台 [P].

李成明 ;

赵云 ;

林亮珍 ;

安康 ;

郑宇亭 ;

黑立富 ;

刘金龙 ;

魏俊俊 ;

陈良贤 .

中国专利 :CN206828679U ,2018-01-02

[7]

微波等离子体化学气相沉积法生长多晶金刚石片的方法 [P].

宋彦军 ;

陶隆凤 ;

王礼胜 .

中国专利 :CN109911894A ,2019-06-21

[8]

一种微波等离子体化学气相沉积形成的金刚石膜 [P].

龚闯 ;

吴剑波 ;

朱长征 ;

余斌 .

中国专利 :CN209178291U ,2019-07-30

[9]

一种微波等离子体化学气相沉积金刚石膜的装置 [P].

皮超杰 ;

夏震 ;

徐国龙 .

中国专利 :CN206529521U ,2017-09-29

[10]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN206635410U ,2017-11-14

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