微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石用的沉积台

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201720707933.3

申请日：

2017-06-16

公开(公告)号：

CN206828679U

公开(公告)日：

2018-01-02

发明(设计)人：

李成明赵云林亮珍安康郑宇亭黑立富刘金龙魏俊俊陈良贤

申请人：

申请人地址：

100083 北京市海淀区学院路30号

IPC主分类号：

C30B2904

IPC分类号：

C30B2512

代理机构：

北京市广友专利事务所有限责任公司 11237

代理人：

张仲波

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-06-19	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移 IPC(主分类):C30B 29/04 登记生效日:20200602 变更事项:专利权人变更前权利人:北京科技大学变更后权利人:北京科技大学顺德研究生院变更事项:地址变更前权利人:100083 北京市海淀区学院路30号变更后权利人:528300 广东省佛山市顺德区大良致慧路2号
2018-01-02	授权	授权

共 50 条

[1]

微波等离子体化学气相沉积法生长多晶金刚石片的方法 [P].

宋彦军 ;

陶隆凤 ;

王礼胜 .

中国专利 :CN109911894A ,2019-06-21

[2]

微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜方法 [P].

王若民 ;

赵龙 ;

赵博文 ;

王鑫 ;

仇茹嘉 ;

杨海涛 ;

谢佳 ;

柯艳国 ;

高博 ;

孔明 ;

汪玉 ;

王丽君 ;

陈嘉 ;

周梦良 .

中国专利 :CN113174582A ,2021-07-27

[3]

基于微波等离子体化学气相沉积法在石墨片上沉积金刚石膜的方法 [P].

胡晓君 ;

韩辰 ;

陈成克 ;

鲁少华 ;

叶志镇 .

中国专利 :CN119980181A ,2025-05-13

[4]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN206635410U ,2017-11-14

[5]

一种基于微波等离子体化学气相沉积的单晶金刚石基片台 [P].

李庆利 ;

甄西合 ;

徐悟生 ;

赵丽媛 ;

朱逢锐 ;

朱逢旭 ;

杨春晖 .

中国专利 :CN215856452U ,2022-02-18

[6]

一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台 [P].

李文君 ;

周霖 ;

程云 ;

冯真 ;

李春霞 ;

单李军 ;

邓德荣 ;

黎明 ;

杨兴繁 .

中国专利 :CN206751920U ,2017-12-15

[7]

利用微波等离子体化学气相沉积法制备纳米金刚石薄膜的方法 [P].

陆桥宏 ;

何东旺 .

中国专利 :CN114231953A ,2022-03-25

[8]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

于宗旭 .

中国专利 :CN106835070A ,2017-06-13

[9]

微波等离子体化学气相沉积金刚石反应装置 [P].

丁海兵 ;

梁瑞 ;

吉忠浩 ;

陆登峰 .

中国专利 :CN118979242A ,2024-11-19

[10]

一种用于微波等离子体化学气相沉积法制备金刚石膜的基片台 [P].

李文君 ;

周霖 ;

程云 ;

冯真 ;

李春霞 ;

单李军 ;

邓德荣 ;

黎明 ;

杨兴繁 .

中国专利 :CN106929828A ,2017-07-07

← 1 2 3 4 5 →