一种磷化铟单晶受控生长装置

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201721640945.5
申请日
2017-11-30
公开(公告)号
CN207512313U
公开(公告)日
2018-06-19
发明(设计)人
朱建华
申请人
申请人地址
512000 广东省韶关市浈江区北郊黄岗韶关市科技企业创业园内11号
IPC主分类号
C30B2940
IPC分类号
C30B1100
代理机构
广州骏思知识产权代理有限公司 44425
代理人
吴静芝
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
一种磷化铟单晶生长装置 [P]. 
关活明 .
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[2]
可控磷化铟单晶生长装置 [P]. 
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彭彦 ;
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[3]
一种VB法生长磷化铟单晶的装置 [P]. 
李世强 ;
柳廷龙 ;
叶晓达 ;
赵兴凯 ;
魏荣贤 ;
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钱俊兵 .
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[4]
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[5]
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[6]
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[7]
一种磷化铟单晶生长的恒压恒流保护气装置及磷化铟单晶生长的方法 [P]. 
柯尊斌 ;
乔印彬 ;
罗福敏 ;
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[8]
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[9]
一种磷化铟单晶生长炉 [P]. 
肖祥江 ;
囤国超 ;
吕春富 ;
任洋 ;
叶晓达 ;
董汝昆 ;
杨嗣文 ;
梁鹏 .
中国专利 :CN207525375U ,2018-06-22
[10]
可控磷化铟单晶生长装置及生长方法 [P]. 
朱建华 ;
钟勇 ;
曾平生 ;
王坚 ;
刘芳芳 ;
吴选高 ;
刘重伟 ;
彭彦 ;
黄大霜 .
中国专利 :CN117568915A ,2024-02-20