用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备及成套PECVD设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201921623534.4

申请日：

2019-09-27

公开(公告)号：

CN211339683U

公开(公告)日：

2020-08-25

发明(设计)人：

杨飞云徐升东胡宏逵陈金元李朋

申请人：

申请人地址：

201315 上海市浦东新区秀浦路2555号A1幢8层

IPC主分类号：

C23C1650

IPC分类号：

C23C1646 C23C1654 H01L3118

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-08-25	授权	授权

共 50 条

[1]

用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备及镀膜方法 [P].

徐升东 ;

杨飞云 ;

陈金元 .

中国专利 :CN110735125A ,2020-01-31

[2]

异质结太阳能电池镀膜载板及PECVD设备 [P].

吴华德 ;

蒋方丹 ;

吴坚 .

中国专利 :CN211980591U ,2020-11-20

[3]

PECVD柔性太阳能电池制造设备 [P].

奚建平 .

中国专利 :CN203429247U ,2014-02-12

[4]

一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室 [P].

周继承 ;

廖佳 ;

黄静 ;

徐伟 ;

曾世魁 .

中国专利 :CN214193448U ,2021-09-14

[5]

一种用于生产异质结太阳能电池镀膜的PECVD设备 [P].

白焱辉 ;

李高非 ;

王继磊 ;

张娟 ;

黄金 ;

高勇 ;

鲍少娟 ;

崔宁 ;

贾慧君 ;

王嘉超 .

中国专利 :CN209778993U ,2019-12-13

[6]

一种用于生产异质结太阳能电池镀膜的PECVD设备 [P].

白焱辉 ;

李高非 ;

王继磊 ;

张娟 ;

黄金 ;

高勇 ;

鲍少娟 ;

崔宁 ;

贾慧君 ;

王嘉超 .

中国专利 :CN109778148A ,2019-05-21

[7]

PECVD法制备双面异质结太阳能电池的串行式设备 [P].

郭群超 ;

王凌云 ;

柳琴 ;

张愿成 ;

张滢清 ;

李红波 .

中国专利 :CN202307808U ,2012-07-04

[8]

一种PECVD设备成膜用的异质结太阳能电池托盘 [P].

马哲国 .

中国专利 :CN203807554U ,2014-09-03

[9]

PECVD柔性太阳能电池制造设备 [P].

奚建平 .

中国专利 :CN103397311B ,2013-11-20

[10]

一种异质结太阳能电池PECVD设备的真空腔室 [P].

周继承 ;

廖佳 ;

黄静 ;

徐伟 ;

曾世魁 .

中国专利 :CN112760622A ,2021-05-07

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