PECVD法制备双面异质结太阳能电池的串行式设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201120420407.1

申请日：

2011-10-28

公开(公告)号：

CN202307808U

公开(公告)日：

2012-07-04

发明(设计)人：

郭群超王凌云柳琴张愿成张滢清李红波

申请人：

申请人地址：

200241 上海市闵行区申南路555号

IPC主分类号：

H01L21205

IPC分类号：

代理机构：

上海科盛知识产权代理有限公司 31225

代理人：

杨元焱

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-04	授权	授权
2015-12-16	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101637680490 IPC(主分类):H01L 21/205 专利号:ZL2011204204071 申请日:20111028 授权公告日:20120704 终止日期:20141028

共 50 条

[1]

PECVD法制备双面异质结太阳能电池的串行式设备和工艺 [P].

郭群超 ;

王凌云 ;

柳琴 ;

张愿成 ;

张滢清 ;

李红波 .

中国专利 :CN103094403B ,2013-05-08

[2]

PECVD法制备双面异质结太阳能电池的团簇式设备 [P].

郭群超 ;

王凌云 ;

柳琴 ;

张愿成 ;

张滢清 ;

李红波 .

中国专利 :CN202308007U ,2012-07-04

[3]

PECVD法制备双面异质结太阳能电池的团簇式设备和工艺 [P].

李红波 ;

张愿成 ;

陈亿舜 ;

柳琴 ;

张滢清 .

中国专利 :CN103094402B ,2013-05-08

[4]

双面异质结太阳能电池 [P].

张达奇 ;

陈曦 ;

吴坚 .

中国专利 :CN216849966U ,2022-06-28

[5]

用于制造异质结太阳能电池的PECVD设备及成套PECVD设备 [P].

杨飞云 ;

徐升东 ;

胡宏逵 ;

陈金元 ;

李朋 .

中国专利 :CN211339683U ,2020-08-25

[6]

异质结太阳能电池 [P].

姚铮 ;

吴华德 ;

张达奇 ;

吴坚 ;

蒋方丹 .

中国专利 :CN212848456U ,2021-03-30

[7]

异质结太阳能电池 [P].

姚铮 ;

吴华德 ;

张达奇 ;

吴坚 ;

蒋方丹 ;

邢国强 .

中国专利 :CN212783485U ,2021-03-23

[8]

异质结太阳能电池 [P].

王进 ;

彭福国 ;

胡德政 ;

徐希翔 ;

李沅民 .

中国专利 :CN207425870U ,2018-05-29

[9]

异质结太阳能电池 [P].

姚铮 ;

吴华德 ;

张达奇 ;

吴坚 ;

蒋方丹 ;

邢国强 .

中国专利 :CN212648257U ,2021-03-02

[10]

异质结太阳能电池 [P].

姚铮 ;

吴华德 ;

张达奇 ;

吴坚 ;

蒋方丹 ;

邢国强 .

中国专利 :CN212848449U ,2021-03-30

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