PECVD法制备双面异质结太阳能电池的团簇式设备和工艺

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110335191.3

申请日：

2011-10-28

公开(公告)号：

CN103094402B

公开(公告)日：

2013-05-08

发明(设计)人：

李红波张愿成陈亿舜柳琴张滢清

申请人：

申请人地址：

200241 上海市闵行区申南路555号

IPC主分类号：

H01L3118

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

上海科盛知识产权代理有限公司 31225

代理人：

杨元焱

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101588970474 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2011103351913 申请日:20111028
2013-05-08	公开	公开
2015-03-25	著录事项变更	著录事项变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101712458800 IPC(主分类):H01L 31/18 专利申请号:2011103351913 变更事项:发明人变更前:郭群超;王凌云;柳琴;张愿成;张滢清;李红波变更后:李红波;张愿成;陈亿舜;柳琴;张滢清
2016-04-27	授权	授权

共 50 条

[1]

PECVD法制备双面异质结太阳能电池的团簇式设备 [P].

郭群超 ;

王凌云 ;

柳琴 ;

张愿成 ;

张滢清 ;

李红波 .

中国专利 :CN202308007U ,2012-07-04

[2]

PECVD法制备双面异质结太阳能电池的串行式设备和工艺 [P].

郭群超 ;

王凌云 ;

柳琴 ;

张愿成 ;

张滢清 ;

李红波 .

中国专利 :CN103094403B ,2013-05-08

[3]

PECVD法制备双面异质结太阳能电池的串行式设备 [P].

郭群超 ;

王凌云 ;

柳琴 ;

张愿成 ;

张滢清 ;

李红波 .

中国专利 :CN202307808U ,2012-07-04

[4]

双面异质结太阳能电池 [P].

张达奇 ;

陈曦 ;

吴坚 .

中国专利 :CN216849966U ,2022-06-28

[5]

异质结太阳能电池和制备异质结太阳能电池的方法 [P].

张美荣 ;

吴坚 ;

蒋方丹 .

中国专利 :CN114203851A ,2022-03-18

[6]

异质结太阳能电池和制备异质结太阳能电池的方法 [P].

张美荣 ;

吴坚 ;

蒋方丹 .

中国专利 :CN114203849A ,2022-03-18

[7]

异质结太阳能电池和制备异质结太阳能电池的方法 [P].

张美荣 ;

吴坚 ;

蒋方丹 .

中国专利 :CN114203851B ,2024-08-23

[8]

异质结太阳能电池的制备方法和异质结太阳能电池 [P].

宿世超 ;

刘刚 ;

宫元波 ;

李世岚 ;

田宏波 ;

王伟 .

中国专利 :CN120692955A ,2025-09-23

[9]

异质结太阳能电池的制备方法、异质结太阳能电池和装置 [P].

周剑 ;

屈庆源 ;

党晓强 ;

刘欢 ;

林杰 ;

马文豪 .

中国专利 :CN121013462A ,2025-11-25

[10]

异质结太阳能电池的制备方法及异质结太阳能电池 [P].

贺晨冉 ;

彭振维 ;

郁操 ;

曹新民 ;

王登志 .

中国专利 :CN115360267A ,2022-11-18

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