真空处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201180063536.2

申请日：

2011-12-27

公开(公告)号：

CN103392226A

公开(公告)日：

2013-11-13

发明(设计)人：

B.肖特马斯特 W.里伊茨勒 R.洛德 R.巴滋伦 D.罗雷尔

申请人：

申请人地址：

列支敦士登巴尔策斯

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

原绍辉

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-09-03	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101704813882 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2011800635362 变更事项:申请人变更前权利人:OC 欧瑞康巴尔斯公司变更后权利人:欧瑞康先进科技股份公司变更事项:地址变更前权利人:列支敦士登巴尔策斯变更后权利人:列支敦士登巴尔策斯登记生效日:20140811
2013-12-04	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101550524276 IPC(主分类):H01L 21/677 专利申请号:2011800635362 申请日:20111227
2018-02-09	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/677 变更事项:申请人变更前:欧瑞康先进科技股份公司变更后:伊瓦泰克先进科技股份公司变更事项:地址变更前:列支敦士登巴尔策斯变更后:列支敦士登巴尔策斯
2018-02-09	专利申请权、专利权的转移	专利申请权的转移 IPC(主分类):H01L 21/677 登记生效日:20180122 变更事项:申请人变更前权利人:伊瓦泰克先进科技股份公司变更后权利人:瑞士艾发科技变更事项:地址变更前权利人:列支敦士登巴尔策斯变更后权利人:瑞士特吕巴赫
2013-11-13	公开	公开
2019-03-29	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01L 21/677 申请公布日:20131113

共 50 条

[1]

真空处理设备 [P].

B.肖特马斯特 ;

W.里伊茨勒 ;

R.洛德 ;

R.巴滋伦 ;

D.罗雷尔 .

中国专利 :CN109300806B ,2019-02-01

[2]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

佐长谷肇 ;

渡边直树 ;

徐舸 .

中国专利 :CN102191480A ,2011-09-21

[3]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

J·拉姆 ;

B·威德里格 ;

S·卡塞曼 ;

M·D·皮门塔 ;

O·马斯勒 ;

B·汉塞尔曼 .

中国专利 :CN101743338A ,2010-06-16

[4]

真空处理设备 [P].

约亨·克劳瑟 .

中国专利 :CN204644463U ,2015-09-16

[5]

真空处理设备 [P].

芦成 .

中国专利 :CN309314458S ,2025-05-30

[6]

真空处理设备 [P].

沃尔特·邓克曼 ;

沃尔特·斯卡夫 ;

大卫·斯特劳勃 .

中国专利 :CN110434886A ,2019-11-12

[7]

真空处理设备 [P].

沃尔特·斯卡夫 ;

拉尔夫·斯托克伯格 .

中国专利 :CN102186759B ,2011-09-14

[8]

真空处理设备 [P].

沃尔特·邓克曼 ;

沃尔特·斯卡夫 ;

大卫·斯特劳勃 .

德国专利 :CN110434886B ,2024-07-23

[9]

真空处理设备及真空处理设备的控制方法 [P].

张波 ;

余龙 ;

耿生煌 .

中国专利 :CN119121164A ,2024-12-13

[10]

真空处理设备和真空处理衬底的方法 [P].

M·布莱斯 ;

T·纳蒂格 .

中国专利 :CN112789717A ,2021-05-11

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