真空处理设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201811012096.8

申请日：

2011-12-27

公开(公告)号：

CN109300806B

公开(公告)日：

2019-02-01

发明(设计)人：

B.肖特马斯特 W.里伊茨勒 R.洛德 R.巴滋伦 D.罗雷尔

申请人：

申请人地址：

瑞士特吕巴赫

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21677

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

朱铁宏;李强

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-04-15	授权	授权
2019-02-01	公开	公开
2019-03-01	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20111227

共 50 条

[1]

真空处理设备 [P].

B.肖特马斯特 ;

W.里伊茨勒 ;

R.洛德 ;

R.巴滋伦 ;

D.罗雷尔 .

中国专利 :CN103392226A ,2013-11-13

[2]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

佐长谷肇 ;

渡边直树 ;

徐舸 .

中国专利 :CN102191480A ,2011-09-21

[3]

真空处理设备和真空处理方法 [P].

J·拉姆 ;

B·威德里格 ;

S·卡塞曼 ;

M·D·皮门塔 ;

O·马斯勒 ;

B·汉塞尔曼 .

中国专利 :CN101743338A ,2010-06-16

[4]

真空处理设备 [P].

约亨·克劳瑟 .

中国专利 :CN204644463U ,2015-09-16

[5]

真空处理设备 [P].

芦成 .

中国专利 :CN309314458S ,2025-05-30

[6]

真空处理设备 [P].

沃尔特·邓克曼 ;

沃尔特·斯卡夫 ;

大卫·斯特劳勃 .

中国专利 :CN110434886A ,2019-11-12

[7]

真空处理设备 [P].

沃尔特·斯卡夫 ;

拉尔夫·斯托克伯格 .

中国专利 :CN102186759B ,2011-09-14

[8]

真空处理设备 [P].

沃尔特·邓克曼 ;

沃尔特·斯卡夫 ;

大卫·斯特劳勃 .

德国专利 :CN110434886B ,2024-07-23

[9]

真空处理设备及真空处理设备的控制方法 [P].

张波 ;

余龙 ;

耿生煌 .

中国专利 :CN119121164A ,2024-12-13

[10]

真空处理设备和真空处理衬底的方法 [P].

M·布莱斯 ;

T·纳蒂格 .

中国专利 :CN112789717A ,2021-05-11

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