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沟槽型功率器件的制造方法

被引：0
申请号：
CN202111648832.0
申请日：
2021-12-30
公开(公告)号：
CN114429906A
公开(公告)日：
2022-05-03
发明(设计)人：
杨啸 陈辉 王加坤
申请人：
申请人地址：
310051 浙江省杭州市滨江区西兴街道联慧街6号
IPC主分类号：
H01L21336
IPC分类号：
H01L21265 H01L21266 H01L2978
代理机构：
北京成创同维知识产权代理有限公司 11449
代理人：
蔡纯
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-05-03 公开 公开
2022-05-20 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20211230
共 50 条
[1]
沟槽型功率器件的制造方法 [P]. 
杨啸 ;
陈辉 ;
王加坤 .
中国专利 :CN114429906B ,2025-08-26
[2]
沟槽型功率器件的制造方法 [P]. 
李理 ;
马万里 ;
赵圣哲 .
中国专利 :CN104835740A ,2015-08-12
[3]
沟槽型功率器件及其制造方法 [P]. 
杨啸 ;
陈辉 ;
王加坤 .
中国专利 :CN114512545A ,2022-05-17
[4]
沟槽型功率器件的制造方法和沟槽型功率器件 [P]. 
李理 ;
马万里 ;
赵圣哲 .
中国专利 :CN105575761A ,2016-05-11
[5]
沟槽型功率器件的制造方法和沟槽型功率器件 [P]. 
李理 ;
马万里 ;
赵圣哲 .
中国专利 :CN105225959A ,2016-01-06
[6]
沟槽型功率器件结构及其制造方法 [P]. 
周旭 ;
吴荣成 ;
张海波 ;
李远哲 .
中国专利 :CN118380411A ,2024-07-23
[7]
一种沟槽型功率器件及其制造方法 [P]. 
曾大杰 .
中国专利 :CN114122112A ,2022-03-01
[8]
沟槽功率器件结构的制造方法 [P]. 
永福 ;
陈雪萌 .
中国专利 :CN102496568A ,2012-06-13
[9]
沟槽栅功率器件的制造方法 [P]. 
周宁 ;
曾大杰 .
中国专利 :CN118099210A ,2024-05-28
[10]
沟槽型功率器件的制造方法 [P]. 
闵源 ;
张鼎丰 .
中国专利 :CN115101420A ,2022-09-23
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