离子源以及离子注入装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201780039506.5

申请日：

2017-12-27

公开(公告)号：

CN109314025A

公开(公告)日：

2019-02-05

发明(设计)人：

汤瀬琢巳寺泽寿浩佐佐木德康

申请人：

申请人地址：

日本神奈川县

IPC主分类号：

H01J2702

IPC分类号：

H01J3708 H01J37317 H01L21265

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

李婷;谭祐祥

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-05-15	授权	授权
2019-02-05	公开	公开
2019-03-05	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01J 27/02 申请日:20171227

共 50 条

[1]

离子源以及离子注入装置 [P].

许飞 ;

秦斌 ;

汪东 ;

周智 ;

於鹏飞 .

中国专利 :CN104425198A ,2015-03-18

[2]

离子源及离子注入装置以及离子源的运转方法 [P].

东明男 ;

佐佐木德康 ;

寺泽寿浩 .

中国专利 :CN110998779A ,2020-04-10

[3]

离子源、离子注入装置和离子注入方法 [P].

陈子强 ;

廖逸民 .

中国专利 :CN117995632B ,2025-05-09

[4]

离子源、离子注入装置和离子注入方法 [P].

陈子强 ;

廖逸民 .

中国专利 :CN117995632A ,2024-05-07

[5]

离子源和离子注入装置 [P].

佐佐木德康 ;

东明男 ;

寺泽寿浩 .

中国专利 :CN110100296B ,2019-08-06

[6]

离子源和离子注入装置 [P].

山下贵敏 .

中国专利 :CN102832094A ,2012-12-19

[7]

离子源及离子注入装置 [P].

邸太平 ;

洪纪伦 ;

倪明明 ;

吴宗祐 ;

林宗贤 .

中国专利 :CN208753260U ,2019-04-16

[8]

离子源和离子注入装置 [P].

山元徹朗 .

中国专利 :CN110137063A ,2019-08-16

[9]

离子源及离子注入装置 [P].

井内裕 .

中国专利 :CN108054071B ,2018-05-18

[10]

离子源终止器及离子注入装置 [P].

高波 ;

单易飞 .

中国专利 :CN206116344U ,2017-04-19

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