掩膜板和掩膜板的制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810548269.1

申请日：

2018-05-31

公开(公告)号：

CN108385058A

公开(公告)日：

2018-08-10

发明(设计)人：

熊腾青李如乔永康潘晟恺刘杰杨凯于剑伟

申请人：

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1424

代理机构：

北京三高永信知识产权代理有限责任公司 11138

代理人：

杨广宇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-08-10	公开	公开
2018-09-04	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20180531
2020-06-09	授权	授权

共 50 条

[1]

掩膜板的制造方法和掩膜板 [P].

赵小虎 .

中国专利 :CN109643057A ,2019-04-16

[2]

掩膜板、掩膜装置及其制造方法和掩膜制造设备 [P].

罗昶 ;

梁逸南 ;

吴海东 ;

吴建鹏 .

中国专利 :CN108977761B ,2018-12-11

[3]

掩膜板的制备方法和掩膜板 [P].

张小磊 ;

藤野诚治 ;

王小虎 .

中国专利 :CN104865791A ,2015-08-26

[4]

掩膜板和掩膜板的组装方法 [P].

林治明 ;

王震 .

中国专利 :CN106498343A ,2017-03-15

[5]

精密掩膜板和掩膜板 [P].

邱岳 ;

王子豪 ;

李伟丽 ;

韩冰 ;

李文星 .

中国专利 :CN114032499A ,2022-02-11

[6]

掩膜板，掩膜板组件及其制造方法 [P].

刘月 .

中国专利 :CN112126893A ,2020-12-25

[7]

掩膜板、掩膜装置、掩膜板的制备方法 [P].

朱海彬 ;

董学 ;

袁广才 ;

王伟杰 ;

张峰杰 .

中国专利 :CN109440061A ,2019-03-08

[8]

掩膜框架及制造方法和掩膜板 [P].

林治明 .

中国专利 :CN106702318A ,2017-05-24

[9]

掩膜板、掩膜板的制造方法和蒸镀装置 [P].

张文畅 ;

马超 ;

靳福江 ;

杨文斌 ;

曾望明 ;

王永茂 ;

黄世花 .

中国专利 :CN107130209B ,2017-09-05

[10]

掩膜板、掩膜板组件及掩膜板的制备方法 [P].

邢汝博 .

中国专利 :CN119932476A ,2025-05-06

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