等离子体设备及其反应腔室

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210516454.5

申请日：

2012-12-05

公开(公告)号：

CN103849836B

公开(公告)日：

2014-06-11

发明(设计)人：

刘建生陈鹏吕铀杨玉杰郭浩

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

C23C1422

IPC分类号：

C23C1644

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

宋合成;黄德海

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-10-27	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 14/22 变更事项:专利权人变更前:北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司变更后:北京北方华创微电子装备有限公司变更事项:地址变更前:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号变更后:100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号
2014-06-11	公开	公开
2014-07-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583602211 IPC(主分类):C23C 14/22 专利申请号:2012105164545 申请日:20121205
2016-12-28	授权	授权

共 50 条

[1]

等离子体设备及其反应腔室 [P].

杨玉杰 ;

边国栋 ;

吕铀 ;

王厚工 ;

陈鹏 .

中国专利 :CN103854945A ,2014-06-11

[2]

反应腔室以及等离子体设备 [P].

王伟 .

中国专利 :CN108987237A ,2018-12-11

[3]

反应腔室以及等离子体设备 [P].

王伟 .

中国专利 :CN108987237B ,2024-06-21

[4]

反应腔室以及等离子体设备 [P].

王伟 .

中国专利 :CN208478281U ,2019-02-05

[5]

腔体内衬、等离子体反应腔室和等离子体设备 [P].

肖德志 ;

王建龙 .

中国专利 :CN110838429B ,2020-02-25

[6]

反应腔室及具有其的等离子体设备 [P].

郑金果 .

中国专利 :CN103887137A ,2014-06-25

[7]

反应腔室以及电容耦合等离子体设备 [P].

王文章 ;

陈鹏 ;

丁培军 ;

刘菲菲 .

中国专利 :CN207320060U ,2018-05-04

[8]

反应腔室以及电容耦合等离子体设备 [P].

王文章 ;

陈鹏 ;

丁培军 ;

刘菲菲 .

中国专利 :CN107578977A ,2018-01-12

[9]

反应腔室以及电容耦合等离子体设备 [P].

王文章 ;

陈鹏 ;

丁培军 ;

刘菲菲 .

中国专利 :CN107578977B ,2025-01-14

[10]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

李兴存 .

中国专利 :CN110875168B ,2020-03-10

← 1 2 3 4 5 →