等离子体设备及其反应腔室

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201210516399.X

申请日：

2012-12-05

公开(公告)号：

CN103854945A

公开(公告)日：

2014-06-11

发明(设计)人：

杨玉杰边国栋吕铀王厚工陈鹏

申请人：

申请人地址：

100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号

IPC主分类号：

H01J3732

IPC分类号：

代理机构：

北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201

代理人：

贾玉姣;宋合成

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-07-09	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101583603089 IPC(主分类):H01J 37/32 专利申请号:201210516399X 申请日:20121205
2014-06-11	公开	公开
2018-03-06	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):H01J 37/32 申请公布日:20140611

共 50 条

[1]

等离子体设备及其反应腔室 [P].

刘建生 ;

陈鹏 ;

吕铀 ;

杨玉杰 ;

郭浩 .

中国专利 :CN103849836B ,2014-06-11

[2]

反应腔室以及等离子体设备 [P].

王伟 .

中国专利 :CN108987237A ,2018-12-11

[3]

反应腔室以及等离子体设备 [P].

王伟 .

中国专利 :CN108987237B ,2024-06-21

[4]

反应腔室以及等离子体设备 [P].

王伟 .

中国专利 :CN208478281U ,2019-02-05

[5]

腔体内衬、等离子体反应腔室和等离子体设备 [P].

肖德志 ;

王建龙 .

中国专利 :CN110838429B ,2020-02-25

[6]

反应腔室及具有它的等离子体设备 [P].

杨玉杰 ;

吕铀 .

中国专利 :CN103972012A ,2014-08-06

[7]

反应腔室及具有其的等离子体设备 [P].

郑金果 .

中国专利 :CN103887137A ,2014-06-25

[8]

用于等离子体设备腔室的等离子清洗方法 [P].

李俊杰 .

中国专利 :CN102789960A ,2012-11-21

[9]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

李兴存 .

中国专利 :CN110875168B ,2020-03-10

[10]

反应腔室及等离子体加工设备 [P].

袁福顺 .

中国专利 :CN104746044B ,2015-07-01

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