硅基高速高响应PIN光电探测器及其制作方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201710978970.2
申请日
2017-10-19
公开(公告)号
CN109686805B
公开(公告)日
2019-04-26
发明(设计)人
向勇军 张鎏 黄烈云
申请人
申请人地址
400060 重庆市南岸区南坪花园路14号
IPC主分类号
H01L31105
IPC分类号
H01L310352 H01L3118
代理机构
重庆辉腾律师事务所 50215
代理人
王海军
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
硅基光电探测器及其制作方法 [P]. 
盛振 ;
武爱民 ;
仇超 ;
赵瑛璇 ;
高腾 ;
甘甫烷 ;
王曦 .
中国专利 :CN108878544A ,2018-11-23
[2]
一种高速高响应光电探测器及其制作方法 [P]. 
李冠宇 ;
戴家赟 ;
王宇轩 ;
牛斌 .
中国专利 :CN114023831A ,2022-02-08
[3]
响应度空间可变PIN光电探测器及其制作方法 [P]. 
鲁卿 ;
向勇军 ;
谭千里 ;
孙诗 ;
曹飞 .
中国专利 :CN103646985B ,2014-03-19
[4]
高速光电探测器芯片及其制作方法 [P]. 
赵润 ;
尹顺政 ;
安文 .
中国专利 :CN106356416A ,2017-01-25
[5]
近红外响应的硅基雪崩光电探测器及其制作方法 [P]. 
黄建 ;
江海波 ;
李睿智 ;
黄烈云 .
中国专利 :CN106449856A ,2017-02-22
[6]
光电探测器、集成光电探测器及其制作方法 [P]. 
张济志 .
中国专利 :CN111312848A ,2020-06-19
[7]
硅基雪崩光电探测器阵列及其制作方法 [P]. 
郑婉华 ;
彭红玲 .
中国专利 :CN108573989B ,2018-09-25
[8]
硅基光电探测器及其制备方法 [P]. 
杨荣 ;
王庆 ;
余明斌 .
中国专利 :CN117476800A ,2024-01-30
[9]
硅基光电探测器及其制备方法 [P]. 
杨荣 ;
王庆 ;
余明斌 .
中国专利 :CN117476800B ,2024-04-09
[10]
1064nm增强型Si‑PIN光电探测器及其制作方法 [P]. 
黄烈云 ;
廖乃镘 ;
罗春林 ;
王艳 .
中国专利 :CN106129145A ,2016-11-16