卡盘台、磨削装置及磨削品的制造方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201910475572.8
申请日
2019-06-03
公开(公告)号
CN110605636A
公开(公告)日
2019-12-24
发明(设计)人
高森雄大
申请人
申请人地址
日本京都府京都市南区上鸟羽上调子町5番地(邮编:601-8105)
IPC主分类号
B24B1900
IPC分类号
B24B4104 B24B4106 B24B5702
代理机构
北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205
代理人
罗英;臧建明
法律状态
公开
国省代码
引用
下载
收藏
共 50 条
[1]
磨削装置及磨削品的制造方法 [P]. 
高森雄大 ;
黄善夏 .
中国专利 :CN109015165B ,2018-12-18
[2]
卡盘工作台、磨削装置和被加工物的磨削方法 [P]. 
中野恵助 ;
岛津陵 .
中国专利 :CN115476236A ,2022-12-16
[3]
卡盘工作台和磨削装置 [P]. 
现王园二郎 ;
大波豪 .
中国专利 :CN110370166B ,2019-10-25
[4]
卡盘工作台和磨削装置 [P]. 
禹俊洙 ;
铃木佳祐 ;
守屋宗幸 .
中国专利 :CN108296935A ,2018-07-20
[5]
磨削方法及磨削装置 [P]. 
西口正巳 ;
平冈贵树 .
中国专利 :CN1810446B ,2006-08-02
[6]
磨削装置及磨削方法 [P]. 
王刚 ;
谢贵久 ;
衣忠波 ;
白阳 ;
梁津 ;
李丹 .
中国专利 :CN117984186A ,2024-05-07
[7]
磨削方法、磨削装置及用于磨削装置的电极 [P]. 
里卡多·伊蒂罗·奥里 .
中国专利 :CN101491882A ,2009-07-29
[8]
板状物的制造装置、制造方法、端面磨削装置及磨削方法 [P]. 
中西正直 ;
大野茂 ;
今里祐介 .
中国专利 :CN102380807A ,2012-03-21
[9]
晶片的磨削装置及磨削方法 [P]. 
佐藤吉三 ;
三浦修 .
中国专利 :CN1664993A ,2005-09-07
[10]
圆筒磨削装置、圆筒磨削方法及晶圆的制造方法 [P]. 
小日向智仁 ;
金原崇浩 .
日本专利 :CN119768895A ,2025-04-04