板状物的制造装置、制造方法、端面磨削装置及磨削方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201110221225.6
申请日
2011-07-29
公开(公告)号
CN102380807A
公开(公告)日
2012-03-21
发明(设计)人
中西正直 大野茂 今里祐介
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B24B910
IPC分类号
代理机构
中原信达知识产权代理有限责任公司 11219
代理人
高培培;车文
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
磨削装置及磨削方法以及薄板状部件的制造方法 [P]. 
青山博司 ;
西川良一 ;
杉本宪彦 ;
林田彻 .
中国专利 :CN102039547A ,2011-05-04
[2]
磨削装置及磨削品的制造方法 [P]. 
高森雄大 ;
黄善夏 .
中国专利 :CN109015165B ,2018-12-18
[3]
薄板状工件磨削装置及薄板状构件的制造方法 [P]. 
青山博司 ;
林田彻 .
中国专利 :CN103659514A ,2014-03-26
[4]
卡盘台、磨削装置及磨削品的制造方法 [P]. 
高森雄大 .
中国专利 :CN110605636A ,2019-12-24
[5]
圆筒磨削装置、圆筒磨削方法及晶圆的制造方法 [P]. 
小日向智仁 ;
金原崇浩 .
日本专利 :CN119768895A ,2025-04-04
[6]
玻璃基板的端面磨削装置及其端面磨削方法 [P]. 
西村直树 ;
田中重刚 .
中国专利 :CN101500749A ,2009-08-05
[7]
玻璃基板的端面磨削装置和端面磨削方法 [P]. 
远藤秀之 ;
大川润 ;
宫本干大 .
中国专利 :CN103358200A ,2013-10-23
[8]
检查装置、板状物的制造装置、检查方法、板状物的制造方法 [P]. 
安江健造 .
中国专利 :CN112074726A ,2020-12-11
[9]
圆盘状基板的磨削方法、磨削装置 [P]. 
羽根田和幸 ;
藤波聪 .
中国专利 :CN101224552B ,2008-07-23
[10]
器件的制造方法和磨削装置 [P]. 
吉田真司 ;
矢野紘英 .
中国专利 :CN107452608A ,2017-12-08