圆盘状基板的磨削方法、磨削装置

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专利类型
发明
申请号
CN200810003054.8
申请日
2008-01-18
公开(公告)号
CN101224552B
公开(公告)日
2008-07-23
发明(设计)人
羽根田和幸 藤波聪
申请人
申请人地址
日本东京
IPC主分类号
B24B720
IPC分类号
H01L21304 B24B2900 B24B3704
代理机构
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人
党晓林
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
基板磨削装置以及基板磨削方法 [P]. 
井出悟 ;
三井贵彦 ;
坂东翼 ;
高冈和宏 .
中国专利 :CN110900313A ,2020-03-24
[2]
磨削装置以及矩形基板的磨削方法 [P]. 
山中聪 .
中国专利 :CN105280488A ,2016-01-27
[3]
磨削装置和矩形基板的磨削方法 [P]. 
山中聪 .
中国专利 :CN105269423A ,2016-01-27
[4]
磨削装置以及矩形基板的磨削方法 [P]. 
山中聪 .
中国专利 :CN105312974B ,2016-02-10
[5]
一种基板磨削装置和基板磨削方法 [P]. 
董智伟 ;
刘远航 ;
马旭 ;
王江涛 .
中国专利 :CN117428605A ,2024-01-23
[6]
玻璃基板的端面磨削装置及其端面磨削方法 [P]. 
西村直树 ;
田中重刚 .
中国专利 :CN101500749A ,2009-08-05
[7]
玻璃基板的端面磨削装置和端面磨削方法 [P]. 
远藤秀之 ;
大川润 ;
宫本干大 .
中国专利 :CN103358200A ,2013-10-23
[8]
包含树脂的复合基板的磨削方法和磨削装置 [P]. 
山本荣一 ;
三井贵彦 ;
坂东翼 ;
井出悟 .
中国专利 :CN111347304A ,2020-06-30
[9]
盘状磨削装置 [P]. 
张长江 ;
陈博华 .
中国专利 :CN221903951U ,2024-10-29
[10]
封装基板的磨削方法 [P]. 
杉谷哲一 ;
堤义弘 ;
栗村茂也 .
中国专利 :CN105551950A ,2016-05-04