磨削装置以及矩形基板的磨削方法

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专利类型
发明
申请号
CN201510282690.9
申请日
2015-05-28
公开(公告)号
CN105312974B
公开(公告)日
2016-02-10
发明(设计)人
山中聪
申请人
申请人地址
日本东京都
IPC主分类号
B24B730
IPC分类号
B24B707 B24B4106
代理机构
北京三友知识产权代理有限公司 11127
代理人
李辉;金玲
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
磨削装置以及矩形基板的磨削方法 [P]. 
山中聪 .
中国专利 :CN105280488A ,2016-01-27
[2]
磨削装置和矩形基板的磨削方法 [P]. 
山中聪 .
中国专利 :CN105269423A ,2016-01-27
[3]
基板磨削装置以及基板磨削方法 [P]. 
井出悟 ;
三井贵彦 ;
坂东翼 ;
高冈和宏 .
中国专利 :CN110900313A ,2020-03-24
[4]
磨削装置以及磨削方法 [P]. 
福井刚 ;
中塚薰 ;
滨田畅 ;
田村幸治 .
中国专利 :CN104858780A ,2015-08-26
[5]
磨削装置以及磨削方法 [P]. 
吉田真司 .
中国专利 :CN101745851A ,2010-06-23
[6]
导轨磨削装置、导轨的磨削方法以及导轨磨削装置的调整方法 [P]. 
广田和明 ;
大木克伦 ;
小笠原崇 .
日本专利 :CN115210042B ,2024-06-14
[7]
圆盘状基板的磨削方法、磨削装置 [P]. 
羽根田和幸 ;
藤波聪 .
中国专利 :CN101224552B ,2008-07-23
[8]
磨削加工方法以及磨削装置 [P]. 
井沢毅司 ;
朴木继雄 .
中国专利 :CN106041649A ,2016-10-26
[9]
磨削轮以及磨削室的清洗方法 [P]. 
津野贵彦 .
中国专利 :CN104972407A ,2015-10-14
[10]
基板的磨削方法 [P]. 
黑川浩史 ;
松原壮一 .
中国专利 :CN112605734A ,2021-04-06