物镜成像系统的波像差检测装置及其系统误差校正方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410456915.3

申请日：

2014-09-10

公开(公告)号：

CN104236856A

公开(公告)日：

2014-12-24

发明(设计)人：

卢云君唐锋王向朝

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯;张宁展

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-01-14	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101595654095 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2014104569153 申请日:20140910
2014-12-24	公开	公开
2017-01-18	授权	授权

共 50 条

[1]

物镜波像差检测系统 [P].

张运海 ;

薛晓君 ;

唐志豪 .

中国专利 :CN103293879A ,2013-09-11

[2]

可标定系统误差的光刻机投影物镜波像差在线检测装置 [P].

刘克 ;

李艳秋 ;

刘丽辉 .

中国专利 :CN101655670B ,2010-02-24

[3]

系统误差自校准的光刻机投影物镜波像差的在线检测方法 [P].

李艳秋 ;

汪海 ;

刘克 .

中国专利 :CN102163008A ,2011-08-24

[4]

一种用于物镜成像系统的波像差高精度测量装置 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 .

中国专利 :CN204165736U ,2015-02-18

[5]

干涉仪装置的系统误差校正方法 [P].

斋藤隆行 ;

葛宗涛 .

中国专利 :CN101451889A ,2009-06-10

[6]

异步组网雷达系统误差校正方法 [P].

刘宏伟 ;

周生华 ;

陈林 ;

雷欢 ;

蒲文强 ;

严俊坤 .

中国专利 :CN105353359B ,2016-02-24

[7]

深度成像系统及其温度误差校正方法 [P].

许星 ;

黄源浩 .

中国专利 :CN108917639A ,2018-11-30

[8]

深度成像系统及其温度误差校正方法 [P].

许星 ;

黄源浩 .

中国专利 :CN108711167A ,2018-10-26

[9]

光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法 [P].

李杰 ;

王向朝 ;

唐锋 ;

吴飞斌 ;

戴凤钊 ;

余程 .

中国专利 :CN103674493A ,2014-03-26

[10]

一种工件台系统误差的校正系统及校正方法 [P].

曹敏 ;

李依然 ;

郑萧轩 ;

李树楠 .

中国专利 :CN120368851A ,2025-07-25

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