光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310646820.3

申请日：

2013-12-04

公开(公告)号：

CN103674493A

公开(公告)日：

2014-03-26

发明(设计)人：

李杰王向朝唐锋吴飞斌戴凤钊余程

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581688631 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2013106468203 申请日:20131204
2016-02-10	授权	授权
2014-03-26	公开	公开

共 50 条

[1]

光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法 [P].

李杰 ;

唐锋 ;

王向朝 ;

戴凤钊 ;

吴飞斌 ;

李永 .

中国专利 :CN104165755B ,2014-11-26

[2]

光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法 [P].

李杰 ;

唐锋 ;

王向朝 ;

戴凤钊 ;

张敏 .

中国专利 :CN103335731A ,2013-10-02

[3]

光栅剪切干涉高精度波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 .

中国专利 :CN112229604A ,2021-01-15

[4]

光栅剪切干涉光学成像系统波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 .

中国专利 :CN109900201B ,2019-06-18

[5]

基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 .

中国专利 :CN109900200A ,2019-06-18

[6]

点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法 [P].

唐锋 ;

王向朝 ;

冯鹏 .

中国专利 :CN107036789A ,2017-08-11

[7]

光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN115452331A ,2022-12-09

[8]

光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN115452331B ,2025-06-13

[9]

干涉仪装置的系统误差校正方法 [P].

斋藤隆行 ;

葛宗涛 .

中国专利 :CN101451889A ,2009-06-10

[10]

数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法 [P].

戴凤钊 ;

王向朝 ;

唐锋 .

中国专利 :CN104807548A ,2015-07-29

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