光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201410406641.7

申请日：

2014-08-18

公开(公告)号：

CN104165755B

公开(公告)日：

2014-11-26

发明(设计)人：

李杰唐锋王向朝戴凤钊吴飞斌李永

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区上海市800－211邮政信箱

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

上海新天专利代理有限公司 31213

代理人：

张泽纯;张宁展

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-11-26	公开	公开
2014-12-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101592569018 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2014104066417 申请日:20140818
2016-09-21	授权	授权

共 50 条

[1]

光栅剪切波像差检测干涉仪及检测方法 [P].

李杰 ;

唐锋 ;

王向朝 ;

戴凤钊 ;

张敏 .

中国专利 :CN103335731A ,2013-10-02

[2]

点衍射波像差检测干涉仪及其检测方法 [P].

唐锋 ;

王向朝 ;

冯鹏 .

中国专利 :CN107036789A ,2017-08-11

[3]

光栅剪切干涉高精度波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 .

中国专利 :CN112229604A ,2021-01-15

[4]

光栅剪切干涉仪波像差检测的系统误差的消除方法 [P].

李杰 ;

王向朝 ;

唐锋 ;

吴飞斌 ;

戴凤钊 ;

余程 .

中国专利 :CN103674493A ,2014-03-26

[5]

光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置及检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 ;

李鹏 ;

刘洋 ;

曹译莎 .

中国专利 :CN113639629A ,2021-11-12

[6]

光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN115452331A ,2022-12-09

[7]

光栅剪切干涉光学成像系统波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 .

中国专利 :CN109900201B ,2019-06-18

[8]

光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN115452331B ,2025-06-13

[9]

一种投影物镜波像差在线检测干涉仪 [P].

吴飞斌 ;

唐锋 ;

王向朝 ;

李杰 ;

李永 .

中国专利 :CN204028565U ,2014-12-17

[10]

基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 .

中国专利 :CN109900200A ,2019-06-18

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