共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
光栅剪切干涉高精度波像差检测方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010934328.6
申请日：
2020-09-08
公开(公告)号：
CN112229604A
公开(公告)日：
2021-01-15
发明(设计)人：
卢云君
唐锋
王向朝
申请人：
申请人地址：
201800 上海市嘉定区清河路390号
IPC主分类号：
G01M1102
IPC分类号：
代理机构：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317
代理人：
张宁展
法律状态：
实质审查的生效
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-02-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20200908 |
| 2021-01-15 | 公开 | 公开 |