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双光栅朗奇剪切干涉高精度相位提取方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202311538931.2
申请日：
2023-11-17
公开(公告)号：
CN117629583A
公开(公告)日：
2024-03-01
发明(设计)人：
常春超 李中梁 卢云君
申请人：
中国科学院上海光学精密机械研究所
申请人地址：
201800 上海市嘉定区清河路390号
IPC主分类号：
G01M11/02
IPC分类号：
代理机构：
上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317
代理人：
张宁展
法律状态：
公开
国省代码：
北京市
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2024-03-01 公开 公开
2024-03-19 实质审查的生效 实质审查的生效IPC(主分类):G01M 11/02申请日:20231117
共 50 条
[1]
基于朗奇剪切干涉仪的相位提取方法 [P]. 
吴飞斌 ;
唐锋 ;
王向朝 ;
李杰 ;
李永 .
中国专利 :CN104111120B ,2014-10-22
[2]
光栅剪切干涉高精度波像差检测方法 [P]. 
卢云君 ;
唐锋 ;
王向朝 .
中国专利 :CN112229604A ,2021-01-15
[3]
光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法 [P]. 
卢云君 ;
李中梁 ;
王向朝 .
中国专利 :CN115452331B ,2025-06-13
[4]
光栅剪切干涉高精度投影物镜波像差检测方法 [P]. 
卢云君 ;
李中梁 ;
王向朝 .
中国专利 :CN115452331A ,2022-12-09
[5]
光栅剪切干涉光学成像系统波像差检测方法 [P]. 
卢云君 ;
唐锋 ;
王向朝 .
中国专利 :CN109900201B ,2019-06-18
[6]
基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法 [P]. 
卢云君 ;
唐锋 ;
王向朝 .
中国专利 :CN109900200A ,2019-06-18
[7]
光栅剪切干涉投影物镜波像差检测装置及检测方法 [P]. 
卢云君 ;
唐锋 ;
王向朝 ;
李鹏 ;
刘洋 ;
曹译莎 .
中国专利 :CN113639629A ,2021-11-12
[8]
基于光栅剪切干涉的光学系统数值孔径的测量方法 [P]. 
卢云君 ;
李中梁 ;
王向朝 .
中国专利 :CN115436025A ,2022-12-06
[9]
基于光栅剪切干涉的光学系统数值孔径的测量方法 [P]. 
卢云君 ;
李中梁 ;
王向朝 .
中国专利 :CN115436025B ,2025-05-13
[10]
光栅剪切波像差检测干涉仪及其检测方法 [P]. 
李杰 ;
唐锋 ;
王向朝 ;
戴凤钊 ;
吴飞斌 ;
李永 .
中国专利 :CN104165755B ,2014-11-26
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