基于光栅剪切干涉的光学系统数值孔径的测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202211190024.9

申请日：

2022-09-28

公开(公告)号：

CN115436025B

公开(公告)日：

2025-05-13

发明(设计)人：

卢云君李中梁王向朝

申请人：

中国科学院上海光学精密机械研究所

申请人地址：

201800 上海市嘉定区清河路390号

IPC主分类号：

G01M11/02

IPC分类号：

代理机构：

上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317

代理人：

张宁展

法律状态：

授权

国省代码：

北京市

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法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-05-13	授权	授权

共 50 条

[1]

基于光栅剪切干涉的光学系统数值孔径的测量方法 [P].

卢云君 ;

李中梁 ;

王向朝 .

中国专利 :CN115436025A ,2022-12-06

[2]

用于转换数值孔径的光学系统 [P].

Y·弗拉迪米尔斯基 ;

L·赖滋科夫 .

中国专利 :CN101025474A ,2007-08-29

[3]

光栅横向剪切干涉大数值孔径波前重建方法 [P].

唐锋 ;

王向朝 ;

彭常哲 ;

冯鹏 .

中国专利 :CN107063477A ,2017-08-18

[4]

基于光栅剪切干涉的光学成像系统的波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 .

中国专利 :CN109900200A ,2019-06-18

[5]

一种基于衍射光栅的显微物镜数值孔径测量方法 [P].

张蓓 ;

肖天宇 ;

王希奇 ;

闫鹏 ;

胡庆雷 .

中国专利 :CN109916598A ,2019-06-21

[6]

一种大数值孔径的投影光学系统 [P].

邓超 ;

邢廷文 ;

廖志远 ;

朱红伟 ;

杨雄 ;

白瑜 .

中国专利 :CN103499877A ,2014-01-08

[7]

数字相移横向剪切干涉仪及光学系统波像差测量方法 [P].

戴凤钊 ;

王向朝 ;

唐锋 .

中国专利 :CN104807548A ,2015-07-29

[8]

基于光学系统鬼像测量装置的光学系统鬼像测量方法 [P].

薛勋 ;

赵建科 ;

刘尚阔 ;

张洁 ;

胡丹丹 ;

李坤 ;

曹昆 ;

昌明 ;

王争锋 ;

李晶 ;

赵怀学 ;

陈永权 ;

段亚轩 ;

田留德 ;

潘亮 ;

徐亮 ;

刘峰 ;

赛建刚 ;

周艳 ;

高斌 ;

高博 .

中国专利 :CN106248351B ,2016-12-21

[9]

光栅剪切干涉光学成像系统波像差检测方法 [P].

卢云君 ;

唐锋 ;

王向朝 .

中国专利 :CN109900201B ,2019-06-18

[10]

物镜的数值孔径的光学测量的系统和方法 [P].

朴艺恩 ;

李昇祐 ;

金泰重 ;

安晋佑 ;

郑西砚 ;

赵泰英 .

韩国专利 :CN119492516A ,2025-02-21

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