基于光学系统鬼像测量装置的光学系统鬼像测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610717298.7

申请日：

2016-08-24

公开(公告)号：

CN106248351B

公开(公告)日：

2016-12-21

发明(设计)人：

薛勋赵建科刘尚阔张洁胡丹丹李坤曹昆昌明王争锋李晶赵怀学陈永权段亚轩田留德潘亮徐亮刘峰赛建刚周艳高斌高博

申请人：

申请人地址：

710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

代理机构：

西安智邦专利商标代理有限公司 61211

代理人：

汪海艳

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-01-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101697766370 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2016107172987 申请日:20160824
2021-08-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01M 11/02 申请日:20160824 授权公告日:20180828 终止日期:20200824
2016-12-21	公开	公开

共 50 条

[1]

一种光学系统鬼像测量装置 [P].

薛勋 ;

赵建科 ;

刘尚阔 ;

张洁 ;

胡丹丹 ;

李坤 ;

曹昆 ;

昌明 ;

王争锋 ;

李晶 ;

赵怀学 ;

陈永权 ;

段亚轩 ;

田留德 ;

潘亮 ;

徐亮 ;

刘峰 ;

赛建刚 ;

周艳 ;

高斌 ;

高博 .

中国专利 :CN206114256U ,2017-04-19

[2]

一种光学系统鬼像测量方法及系统 [P].

吴方 ;

卢庆杰 ;

卢苑云 ;

赵治平 .

中国专利 :CN112067254B ,2020-12-11

[3]

取像光学系统 [P].

汤相岐 ;

林铭清 .

中国专利 :CN101762864B ,2010-06-30

[4]

拾像光学系统 [P].

谢东益 ;

黄歆璇 .

中国专利 :CN102866479B ,2013-01-09

[5]

拾像光学系统 [P].

谢东益 ;

黄歆璇 .

中国专利 :CN202305970U ,2012-07-04

[6]

拾像光学系统 [P].

唐乃元 .

中国专利 :CN100476493C ,2007-08-01

[7]

测量光学系统参数的测量装置及其测量方法 [P].

刘国淦 ;

蔡燕民 .

中国专利 :CN101226344B ,2008-07-23

[8]

用于测量光学系统中下降的电压的测量装置和测量方法、光学系统和光刻系统 [P].

O·赫伯斯特 .

德国专利 :CN119907925A ,2025-04-29

[9]

取像用光学系统 [P].

蔡宗翰 .

中国专利 :CN202041705U ,2011-11-16

[10]

取像用光学系统 [P].

蔡宗翰 .

中国专利 :CN102566017A ,2012-07-11

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