测量光学系统参数的测量装置及其测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810033379.0

申请日：

2008-01-31

公开(公告)号：

CN101226344B

公开(公告)日：

2008-07-23

发明(设计)人：

刘国淦蔡燕民

申请人：

申请人地址：

201203 上海市张江高科技园区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

G01B1127 G01B1114

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

专利权人的姓名或者名称、地址的变更

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2017-05-31	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101752143347 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2008100333790 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号变更后:201203 上海市张江高科技园区张东路1525号
2008-09-17	实质审查的生效	实质审查的生效
2008-07-23	公开	公开
2010-06-02	授权	授权

共 50 条

[1]

基于光学系统鬼像测量装置的光学系统鬼像测量方法 [P].

薛勋 ;

赵建科 ;

刘尚阔 ;

张洁 ;

胡丹丹 ;

李坤 ;

曹昆 ;

昌明 ;

王争锋 ;

李晶 ;

赵怀学 ;

陈永权 ;

段亚轩 ;

田留德 ;

潘亮 ;

徐亮 ;

刘峰 ;

赛建刚 ;

周艳 ;

高斌 ;

高博 .

中国专利 :CN106248351B ,2016-12-21

[2]

光学系统波前测量装置及测量方法 [P].

陈永权 ;

段亚轩 ;

李坤 ;

赵建科 ;

胡丹丹 ;

赛建刚 ;

龙江波 .

中国专利 :CN103226059A ,2013-07-31

[3]

用于测量光学系统中下降的电压的测量装置和测量方法、光学系统和光刻系统 [P].

O·赫伯斯特 .

德国专利 :CN119907925A ,2025-04-29

[4]

一种光学系统波像差测量装置与测量方法 [P].

卢增雄 ;

齐月静 ;

苏佳妮 ;

杨光华 ;

周翊 ;

王宇 .

中国专利 :CN104101487A ,2014-10-15

[5]

光学测量装置、光学测量系统及光学测量方法 [P].

张健 ;

臧笑妍 ;

孙建超 ;

庄源 .

中国专利 :CN120445042A ,2025-08-08

[6]

光学参数测量装置和光学参数测量方法 [P].

刘世豪 .

中国专利 :CN120063484A ,2025-05-30

[7]

形状测量装置用光学系统 [P].

西山功兵 ;

川原田乔生 ;

古田洋平 .

日本专利 :CN117940737A ,2024-04-26

[8]

光学系统和测量装置 [P].

让-皮埃尔·洛雷 .

中国专利 :CN104126112B ,2014-10-29

[9]

光学系统综合测量装置 [P].

牛津 ;

田苗 ;

高蕾 ;

冯卫平 ;

旷立明 .

中国专利 :CN107063643A ,2017-08-18

[10]

大口径光学系统近场检测装置及其测量方法 [P].

寇松峰 ;

叶宇 ;

张志永 ;

田源 ;

顾伯忠 .

中国专利 :CN108871733B ,2018-11-23

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