光学系统波前测量装置及测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201310122116.8

申请日：

2013-04-09

公开(公告)号：

CN103226059A

公开(公告)日：

2013-07-31

发明(设计)人：

陈永权段亚轩李坤赵建科胡丹丹赛建刚龙江波

申请人：

申请人地址：

710119 陕西省西安市高新区新型工业园信息大道17号

IPC主分类号：

G01M1102

IPC分类号：

G01J900

代理机构：

西安智邦专利商标代理有限公司 61211

代理人：

姚敏杰

法律状态：

发明专利申请公布后的视为撤回

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-12-09	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101724724888 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2013101221168 申请公布日:20130731
2013-08-28	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101511725377 IPC(主分类):G01M 11/02 专利申请号:2013101221168 申请日:20130409
2013-07-31	公开	公开

共 50 条

[1]

光学系统波前测量装置 [P].

陈永权 ;

段亚轩 ;

李坤 ;

赵建科 ;

胡丹丹 ;

赛建刚 ;

龙江波 .

中国专利 :CN203216704U ,2013-09-25

[2]

一种光学系统波前测量装置及方法 [P].

鄂可伟 ;

赵建科 ;

周艳 ;

李坤 ;

王涛 ;

李晶 ;

薛勋 ;

赵怀学 ;

刘尚阔 .

中国专利 :CN111912534B ,2020-11-10

[3]

大口径光学系统近场检测装置及其测量方法 [P].

寇松峰 ;

叶宇 ;

张志永 ;

田源 ;

顾伯忠 .

中国专利 :CN108871733B ,2018-11-23

[4]

测量光学系统参数的测量装置及其测量方法 [P].

刘国淦 ;

蔡燕民 .

中国专利 :CN101226344B ,2008-07-23

[5]

基于光学系统鬼像测量装置的光学系统鬼像测量方法 [P].

薛勋 ;

赵建科 ;

刘尚阔 ;

张洁 ;

胡丹丹 ;

李坤 ;

曹昆 ;

昌明 ;

王争锋 ;

李晶 ;

赵怀学 ;

陈永权 ;

段亚轩 ;

田留德 ;

潘亮 ;

徐亮 ;

刘峰 ;

赛建刚 ;

周艳 ;

高斌 ;

高博 .

中国专利 :CN106248351B ,2016-12-21

[6]

波前测量装置和波前测量方法 [P].

近藤刚史 .

中国专利 :CN102914374A ,2013-02-06

[7]

基于远心成像系统的光学系统透射波前测量方法及装置 [P].

房丰洲 ;

王颖墨 .

中国专利 :CN114295327B ,2024-06-14

[8]

基于远心成像系统的光学系统透射波前测量方法及装置 [P].

房丰洲 ;

王颖墨 .

中国专利 :CN114295327A ,2022-04-08

[9]

用于测量光学系统中下降的电压的测量装置和测量方法、光学系统和光刻系统 [P].

O·赫伯斯特 .

德国专利 :CN119907925A ,2025-04-29

[10]

一种光学系统畸变测量方法及设备 [P].

张志宇 ;

王凤 ;

王若秋 ;

薛栋林 ;

张学军 ;

张峰 .

中国专利 :CN110879136A ,2020-03-13

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