用于测量光学系统中下降的电压的测量装置和测量方法、光学系统和光刻系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202380069420.2

申请日：

2023-09-27

公开(公告)号：

CN119907925A

公开(公告)日：

2025-04-29

发明(设计)人：

O·赫伯斯特

申请人：

卡尔蔡司SMT有限责任公司

申请人地址：

德国上科亨

IPC主分类号：

G01R15/04

IPC分类号：

G01R19/00 G03F7/00 G01R15/06 G02B7/182

代理机构：

北京市柳沈律师事务所 11105

代理人：

王蕊瑞

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-21	实质审查的生效	实质审查的生效IPC(主分类):G01R 15/04申请日:20230927
2025-04-29	公开	公开

共 50 条

[1]

光学系统和测量装置 [P].

让-皮埃尔·洛雷 .

中国专利 :CN104126112B ,2014-10-29

[2]

基于光学系统鬼像测量装置的光学系统鬼像测量方法 [P].

薛勋 ;

赵建科 ;

刘尚阔 ;

张洁 ;

胡丹丹 ;

李坤 ;

曹昆 ;

昌明 ;

王争锋 ;

李晶 ;

赵怀学 ;

陈永权 ;

段亚轩 ;

田留德 ;

潘亮 ;

徐亮 ;

刘峰 ;

赛建刚 ;

周艳 ;

高斌 ;

高博 .

中国专利 :CN106248351B ,2016-12-21

[3]

测量光学系统参数的测量装置及其测量方法 [P].

刘国淦 ;

蔡燕民 .

中国专利 :CN101226344B ,2008-07-23

[4]

光学系统及该光学系统的荧光测量方法和预定位方法 [P].

李晓东 ;

宫宇 ;

李延春 ;

杨栋亮 .

中国专利 :CN106525884A ,2017-03-22

[5]

光学系统波前测量装置及测量方法 [P].

陈永权 ;

段亚轩 ;

李坤 ;

赵建科 ;

胡丹丹 ;

赛建刚 ;

龙江波 .

中国专利 :CN103226059A ,2013-07-31

[6]

光学系统自动测量的方法和系统 [P].

N·塞皮恩斯 ;

J·塞里 .

中国专利 :CN115299869A ,2022-11-08

[7]

用于测量光的光学系统和方法 [P].

孔令波 ;

李楠 ;

L·方 ;

王小波 ;

吴岩 .

美国专利 :CN120239813A ,2025-07-01

[8]

光学系统和光刻系统 [P].

T·沃尔夫斯坦纳 ;

S·沃尔兹 ;

M·霍尔兹 ;

H·比格 ;

A-J·格林 ;

A·弗罗姆迈尔 .

德国专利 :CN120435692A ,2025-08-05

[9]

用于样本测量的光学系统和方法 [P].

约阿夫·贝拉茨基 ;

瓦莱里·戴希 ;

德罗尔·沙菲尔 ;

丹尼·格罗斯曼 .

中国专利 :CN109313008B ,2019-02-05

[10]

光学系统综合测量装置 [P].

牛津 ;

田苗 ;

高蕾 ;

冯卫平 ;

旷立明 .

中国专利 :CN107063643A ,2017-08-18

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