一种晶片边缘加工完整度检测装置

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专利类型
实用新型
申请号
CN201420064537.X
申请日
2014-02-13
公开(公告)号
CN203595503U
公开(公告)日
2014-05-14
发明(设计)人
廖波 林文杰 李烨
申请人
申请人地址
210000 江苏省南京市经济技术开发区恒广路58号
IPC主分类号
G01B2100
IPC分类号
代理机构
南京众联专利代理有限公司 32206
代理人
顾进
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
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