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气体回收装置、半导体制造系统及气体回收方法

被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202110689576.3
申请日：
2021-06-22
公开(公告)号：
CN114146526A
公开(公告)日：
2022-03-08
发明(设计)人：
松原雄也
申请人：
申请人地址：
日本东京
IPC主分类号：
B01D5300
IPC分类号：
F23G706
代理机构：
北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287
代理人：
杨林勳
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2022-03-08 公开 公开
2022-03-25 实质审查的生效 实质审查的生效 IPC(主分类):B01D 53/00 申请日:20210622
共 50 条
[1]
气体回收装置、半导体制造系统及气体回收方法 [P]. 
松原雄也 .
日本专利 :CN114146526B ,2024-07-19
[2]
有机气体回收装置及有机气体回收方法 [P]. 
刘国强 ;
魏巍 .
中国专利 :CN110975509A ,2020-04-10
[3]
半导体制造系统、测量装置及半导体制造方法 [P]. 
简志叡 ;
黄韦智 .
中国专利 :CN114783901A ,2022-07-22
[4]
半导体制造装置、半导体制造系统及半导体器件的制造方法 [P]. 
小桥英晴 .
日本专利 :CN119208185A ,2024-12-27
[5]
贮槽气体回收装置及贮槽气体回收系统 [P]. 
郭洪涛 .
中国专利 :CN223153309U ,2025-07-25
[6]
气体加热装置、半导体制造装置、发热体及半导体制造方法 [P]. 
田中博司 .
日本专利 :CN115513092B ,2025-01-28
[7]
气体加热装置、半导体制造装置、发热体及半导体制造方法 [P]. 
田中博司 .
中国专利 :CN115513092A ,2022-12-23
[8]
亚硫酸气体回收方法和亚硫酸气体回收装置 [P]. 
藤井靖彦 ;
铃木达也 ;
杉山正史 ;
曽田健吾 ;
高桥久士 .
中国专利 :CN101028568A ,2007-09-05
[9]
一种活塞式气体回收装置及气体回收方法 [P]. 
周联群 ;
熊雪松 .
中国专利 :CN114110426A ,2022-03-01
[10]
酸性气体回收装置及酸性气体回收方法 [P]. 
忍田哲也 ;
藤田己思人 ;
宇田津满 .
中国专利 :CN107551785A ,2018-01-09
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