清洗液和清洗方法

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN200980159163.1
申请日
2009-05-21
公开(公告)号
CN102421886A
公开(公告)日
2012-04-18
发明(设计)人
宫下雅之 久次米孝信 二井启一 山本雅士
申请人
申请人地址
日本大阪府
IPC主分类号
C11D760
IPC分类号
C11D708 H01L21304
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
苗堃;金世煜
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
[1]
清洗液及清洗方法 [P]. 
宫下雅之 ;
久次米孝信 ;
山本雅士 ;
伊达和哉 .
中国专利 :CN102628009B ,2012-08-08
[2]
清洗液喷射装置和清洗液喷射方法 [P]. 
松坂直树 ;
谷本庆太 ;
藤原诚 ;
熊野晴彦 .
中国专利 :CN107073528A ,2017-08-18
[3]
碱性清洗液、酸性清洗液和超滤膜清洗方法 [P]. 
任鹏飞 ;
栾金义 ;
杨永强 ;
张新妙 ;
奚振宇 ;
彭海珠 .
中国专利 :CN110605027B ,2019-12-24
[4]
硅片清洗液及其清洗方法 [P]. 
李杰 .
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[5]
清洗液 [P]. 
李盈壕 ;
吕志鹏 .
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[6]
清洗液 [P]. 
井合隆 .
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[7]
清洗液 [P]. 
户田和昭 .
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[8]
清洗液 [P]. 
古旗朝隆 .
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[9]
清洗液 [P]. 
井合隆 .
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[10]
清洗液 [P]. 
张凌燕 ;
王川 ;
马洪超 ;
田君喜 ;
龙腾镶 .
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